中国科学院微电子研究所谢婉露获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种光学测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115112610B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210552294.3，技术领域涉及：G01N21/59；该发明授权一种光学测量系统是由谢婉露;吴晓斌;沙鹏飞;韩晓泉;王魁波;李慧;罗艳;谭芳蕊;马赫设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学测量系统在说明书摘要公布了：本公开涉及一种光学测量系统，包括：光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光；光学测量腔室，用于测量待测光学器件的性能参数；插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光学测量腔室。所述光学测量腔室内具有测量光学器件性能参数的调节及探测部件以及归一化能量测试装置。所述归一化能量测试装置包括：透射光栅，用于对射入的光束发生多级衍射；可调节光阑，用于阻挡零级光及特定级数以外的衍射光；能量探测器，用于探测相应级数衍射光能量。
本发明授权一种光学测量系统在权利要求书中公布了：1.一种光学测量系统，其特征在于，包括： 光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光； 光学测量腔室，用于测量待测光学器件的性能参数； 插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光学测量腔室； 所述光学测量腔室内具有归一化能量测试装置； 所述归一化能量测试装置包括： 透射光栅，用于对射入的光束发生多级衍射；可调节光阑，用于阻挡零级光及特定级数以外的衍射光；第二能量探测器，用于探测相应级数衍射光能量； 所述可调节光阑上具有通光孔，用于通过调节所述通光孔的尺径以根据测试需要获得相应级数的衍射光；所述第二能量探测器，用于测量穿过所述通光孔的衍射光能量； 所述光源腔室具体为极紫外光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光，所述极紫外单色光进入测试腔室进行极紫外元件透过率实验测试，所述测试腔室中包括所述归一化能量测试装置、待测透过率样品、光能量探测器、以及探测器调节台。
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