昂坤视觉(北京)科技有限公司马铁中获国家专利权
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龙图腾网获悉昂坤视觉(北京)科技有限公司申请的专利一种晶圆的校准方法及校准系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115112666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210730269.X，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种晶圆的校准方法及校准系统是由马铁中;董跃永;于浩杰;李瑞青;李心怡;周明辉;陈森设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的校准方法及校准系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆的校准方法及校准系统，该方法包括：将晶圆放置于校准平台，获取所述晶圆的过度曝光图像；获取所述校准平台的校准基准，根据所述校准基准和所述过度曝光图像，计算所述晶圆和所述校准基准的校准偏差；根据所述校准偏差，通过所述校准平台移动所述晶圆，直至所述校准偏差小于设定偏差值；识别所述晶圆的标识信息，将所述晶圆登记为已校准状态，复位所述校准平台。本申请的技术方案可以在一定程度上可以提高晶圆校准的精确度和稳定性。
本发明授权一种晶圆的校准方法及校准系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的校准方法，其特征在于，所述方法包括： 将晶圆放置于校准平台，获取所述晶圆的过度曝光图像； 获取所述校准平台的校准基准，根据所述校准基准和所述过度曝光图像，计算所述晶圆和所述校准基准的校准偏差； 根据所述校准偏差，通过所述校准平台移动所述晶圆，直至所述校准偏差小于设定偏差值； 识别所述晶圆的标识信息，将所述晶圆登记为已校准状态，复位所述校准平台。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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