漳州思美科新材料有限公司陈旺获国家专利权
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龙图腾网获悉漳州思美科新材料有限公司申请的专利正型光刻胶组合物和固化膜及其合成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115167078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210788811.7,技术领域涉及:G03F7/039;该发明授权正型光刻胶组合物和固化膜及其合成方法是由陈旺;高家勇;谭黎霞设计研发完成,并于2022-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本正型光刻胶组合物和固化膜及其合成方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种正型光刻胶组合物和固化膜及其合成方法,包括有机溶剂和溶解在有机溶剂中的溶质,所述溶质包括含有侧位环氧基和末端羧基丙烯酸酯共聚物、重氮萘醌类化合物和表面活性剂,所述含有侧位环氧基和末端羧基丙烯酸酯共聚物由丙烯酸缩水甘油酯,3,4‑环氧环己基丙烯酸酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、3,4‑环氧环己基甲基丙烯酸酯和不能含有不饱和羧酸单体中的一种或多种单体聚合而成,聚合反应中使用热聚合引发剂偶氮二氰基戊酸。在形成固化膜时,聚合物中的侧位环氧基和末端羧基可提高在显影液中的溶解度,提高分辨率。
本发明授权正型光刻胶组合物和固化膜及其合成方法在权利要求书中公布了:1.一种正型光刻胶组合物,其特征在于:包括有机溶剂和溶解在有机溶剂中的溶质,所述溶质包括含有侧位环氧基和末端羧基丙烯酸酯共聚物、重氮萘醌类化合物和表面活性剂,所述含有侧位环氧基和末端羧基丙烯酸酯共聚物由丙烯酸缩水甘油酯、3,4-环氧环己基丙烯酸酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、3,4-环氧环己基甲基丙烯酸酯中的一种或多种,与不含有不饱和羧酸的单体聚合而成,聚合反应中使用热聚合引发剂偶氮二氰基戊酸,所述有机溶剂中固体重含量为10~70%。
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