卡尔蔡司SMT有限责任公司M.勒施获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利光瞳光阑、照明光学单元和计量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115220309B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210423580.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光瞳光阑、照明光学单元和计量系统是由M.勒施设计研发完成，并于2022-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光瞳光阑、照明光学单元和计量系统在说明书摘要公布了：用于计量系统的照明光学单元的光瞳光阑7，所述计量系统用于确定待测量的物体的空间像，作为在照明和成像条件下的照明和成像的结果，该照明和成像条件对应于光学生产系统的照明和成像条件。光瞳光阑7具有两个极通道开口10，11，用于指定由光瞳光阑7；20指定的照明光学单元的照明的相应的极。至少一个光阑腹板17，18分别穿过相应的极通道开口10，11，并且从而将极通道开口10，11划分为多个部分极开口10a，10b；11a，11b。这产生了一种光瞳光阑，利用该光瞳光阑，可以改善光学生产系统的照明和成像条件对光学测量系统的照明和成像条件的收敛的精度。
本发明授权光瞳光阑、照明光学单元和计量系统在权利要求书中公布了：1.用于计量系统2的照明光学单元6的光瞳光阑7；20，所述计量系统用于确定待测量的物体23的空间像，作为在照明和成像条件下的照明和成像的结果，所述照明和成像条件对应于光学生产系统的照明和成像条件，所述光瞳光阑 -包括至少两个极通道开口10，11，用于指定由所述光瞳光阑7；20指定的所述照明光学单元6的多极照明的相应的极， -各包括至少一个光阑腹板17，18，所述光阑腹板穿过相应的极通道开口10，11并且从而将所述极通道开口10，11划分成多个部分极开口10a，10b；11a，11b， -其中，所述光瞳光阑7；20实施为布置在所述照明光学单元的光瞳平面中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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