天津山河光电科技有限公司严宇豪获国家专利权
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龙图腾网获悉天津山河光电科技有限公司申请的专利一种超表面透镜制作方法及超表面透镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115267951B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210973981.2,技术领域涉及:G02B1/00;该发明授权一种超表面透镜制作方法及超表面透镜是由严宇豪;邱山峰;孙磊设计研发完成,并于2022-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超表面透镜制作方法及超表面透镜在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超表面透镜制作方法及超表面透镜,涉及超表面透镜技术领域,其中,所述方法包括:获取超表面透镜图像;按照预设尺寸对所述超表面透镜图像进行划分,得到至少两个子图像以及每个子图像对应的掩模版组;通过所述至少两个子图像以及每个子图像对应的掩模版组对第一晶圆进行图像转移,得到带有所述超表面透镜图像的第二晶圆;对所述第二晶圆进行透镜制作处理,得到超表面透镜。通过上述方式,本发明可以在满足光学性能要求的前提下提高效率,降低成本。
本发明授权一种超表面透镜制作方法及超表面透镜在权利要求书中公布了:1.一种超表面透镜制作方法,其特征在于,所述方法包括: 获取超表面透镜图像; 按照预设尺寸对所述超表面透镜图像进行划分,得到至少两个子图像以及每个子图像对应的掩模版组,所述预设尺寸不大于步进式光刻机的曝光视场或者不大于纳米压印系统单次压印面积; 通过所述至少两个子图像以及每个子图像对应的掩模版组对第一晶圆进行图像转移,得到带有所述超表面透镜图像的第二晶圆; 对所述第二晶圆进行透镜制作处理,得到超表面透镜; 对所述第二晶圆进行透镜制作处理,得到超表面透镜,包括: 对所述第二晶圆进行显影、刻蚀、清洗、镀膜,得到第三晶圆; 按照所述预设尺寸对所述第三晶圆进行分割,得到至少两个子晶圆; 按照所述超表面透镜图像,对所述至少两个子晶圆进行拼接,得到拼接后的过渡透镜; 测量所述过渡透镜的像差,根据所述像差,设计补偿透镜; 将所述补偿透镜与所述过渡透镜进行组合,得到所述超表面透镜。
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