北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)刘洋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利叠压装置及叠压机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115274536B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210921339.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权叠压装置及叠压机是由刘洋;杨志;乔文远;邓珏琼设计研发完成，并于2022-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本叠压装置及叠压机在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体生产技术领域，具体而言，涉及一种叠压装置及叠压机，包括叠压工作台和上压模组件，所述叠压工作台包括下压模和定位销，所述定位销用于从所述下压模的顶面伸出，所述上压模组件包括上压模，在所述上压模的底面上形成有定位孔，所述定位孔用于与所述定位销配合。本申请的目的在于针对现有叠压装置仅采用真空吸附方式进行对陶瓷膜片进行固定，对陶瓷膜片的定位并不牢固，叠压过程中陶瓷膜片容易产生移动，降低了叠压精度和产品质量的问题，提供一种叠压装置及叠压机。
本发明授权叠压装置及叠压机在权利要求书中公布了：1.叠压装置，其特征在于，包括叠压工作台和上压模组件，所述叠压工作台包括下压模和定位销，所述定位销用于从所述下压模的顶面伸出，所述上压模组件包括上压模，在所述上压模的底面上形成有定位孔，所述定位孔用于与所述定位销配合； 所述叠压装置包括机架，所述上压模组件还包括直线驱动件、连接板和拉杆，所述连接板水平设置，所述上压模安装于所述连接板的底面，在所述连接板的顶面固定有连接件，所述拉杆的顶端固定于所述直线驱动件，所述拉杆的底端与所述连接件套装，以使所述拉杆与所述连接件能够在竖直方向上滑动配合，并使所述拉杆能够带动所述连接板在竖直方向上移动，所述连接件为套状结构，且所述连接件套装于所述拉杆的底端，在所述连接件的顶部端口的内沿形成有第一限位部，在所述拉杆的底端的外沿形成有第二限位部，所述第一限位部用于与所述第二限位部配合，在竖直方向上所述第一限位部与所述连接板的顶面之间的距离大于所述第二限位部在竖直方向上的尺寸。
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