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龙图腾网获悉上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利退火设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115376973B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211130842.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权退火设备是由康晓旭设计研发完成，并于2022-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本退火设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种退火设备，包括承载部、主退火部和辅助退火部。本发明在所述承载部的受光区域的一侧设置用于出射若干辅助加热光束的所述辅助退火部以利于后续对待处理基片，如硅片先进行预加热，结合将所述辅助退火部配置为使所述若干辅助加热光束发散入射于所述受光区域后相互部分叠加形成面光斑，并使所述面光斑的边缘包围所述主光斑，增加了待处理基片对所述主加热光束的吸收效率，以利于提高加热效果并降低功率需求。

本发明授权退火设备在权利要求书中公布了：1.一种退火设备，其特征在于，包括： 承载部，用于承载待处理基片，所述承载部包括受光区域； 主退火部，位于所述受光区域的一侧，用于出射主加热光束，配置为使所述主加热光束入射于所述受光区域形成主光斑； 辅助退火部，与所述主退火部位于所述受光区域的同一侧，用于出射若干辅助加热光束，配置为使所述辅助加热光束发散入射于所述受光区域后形成若干子光斑，并使相邻所述子光斑部分重叠形成面光斑，以及使所述面光斑的边缘包围所述主光斑；其中，若干所述辅助加热光束的振幅沿出射方向均呈正态分布； 所述辅助退火部包括用于出射原始加热光束的辅助加热光源和分光部，所述分光部位于所述原始加热光束的入射光路上，并将所述原始加热光束分为所述若干辅助加热光束；所述若干辅助加热光束包括若干第一反射光束和若干第二反射光束，所述分光部包括分光装置和反光装置，所述分光装置位于所述原始加热光束的入射光路，并将所述原始加热光束分为若干所述第一反射光束和若干透射光束，所述反光装置位于所述透射光束的入射光路，并将所述若干透射光束反射为所述第二反射光束； 所述承载部包括具有所述受光区域的载物装置，所述退火设置还包括设置于所述受光区域两侧的第一电极和第二电极以产生电场，所述第一电极和所述第二电极配置为使所述电场方向由所述受光区域远离所述主退火部的一侧指向所述受光区域靠近所述主退火部的一侧。

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