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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利新型显示器件喷印制造中薄膜成膜质量监测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115541497B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211310381.4，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权新型显示器件喷印制造中薄膜成膜质量监测方法及系统是由陈建魁;吴佳辉;尹周平;张舟设计研发完成，并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本新型显示器件喷印制造中薄膜成膜质量监测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明属于喷墨印刷制造技术领域，具体涉及新型显示器件喷印制造中薄膜成膜质量监测方法及系统，包括：在喷墨打印系统上配置薄膜喷墨打印腔和流平固化腔以外的另一腔体空间，在该腔体空间中，对完成喷墨打印并流平固化后的基板，计算其中测试图案各采样点坐标，依次采用非接触式白光垂直扫描干涉传感器对各采样点处进行边缘二维数据测量，判定各采样点处的边缘直线性是否达标；计算其中待测Panel边缘流平区域各采样点坐标，以依次采用上述传感器对各采样点处进行边缘三维数据在线测量，判定各采样点处的边缘剖面轮廓是否达标。本发明是一种无接触式薄膜边缘轮廓在线检测方案，能够结合点膜厚在线测量满足喷墨印刷中大规模、产业化的发展需求。

本发明授权新型显示器件喷印制造中薄膜成膜质量监测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种新型显示器件喷印制造中薄膜成膜质量监测方法，其特征在于，包括： 在喷墨打印系统上配置薄膜喷墨打印腔和流平固化腔以外的另一腔体空间；将完成喷墨打印并流平固化后的单张待测基板转移至所述腔体空间中；在所述腔体空间中执行以下步骤，实现新型显示器件喷印制造中薄膜成膜质量监测： 计算当前待检测基板的检测区中每个测试图案的初始采样点坐标；调整每个测试图案在X方向上和Y方向上初始采样点距离测试图案边缘的距离和以及X方向上采样点数m和Y方向上采样点数，计算得到该测试图案各采样点坐标和；基于各采样点坐标，依次采用非接触式白光垂直扫描干涉传感器对各采样点处进行边缘二维数据测量，并判定各采样点处的边缘直线性是否达标； 计算当前待测基板中每个待测Panel上的相互为对角点的坐标、，作为初始采样点坐标；调整每个待测Panel在X方向上和Y方向上初始采样点距离Dam的距离和以及X方向上采样点数m和Y方向上采样点数，使各采样点落在直线型Dam处所对应的区域，计算该待测Panel边缘流平区域各采样点坐标、、、；基于各采样点坐标，依次采用非接触式白光垂直扫描干涉传感器对各采样点处进行边缘三维数据在线测量，并判定各采样点处的边缘剖面轮廓是否达标； 其中，在所述边缘直线性在线检测中，和的计算公式具体为：；；式中，分别为在X方向上和Y方向上每相邻两个采样点之间的间距；分别为在X方向上和Y方向上测试图案尺寸，为已知量； 采用非接触式白光垂直扫描干涉传感器依次获取每个测试图案各采样点坐标周围区域的二维形貌图；标记过X方向上的采样点并与X方向垂直的截线与所述二维形貌图上薄膜边缘线的交点坐标，以及标记过Y方向上的采样点并与Y方向垂直的截线与所述二维形貌图上薄膜边缘线的交点坐标； 根据每个测试图案对应标记的Y方向上各，计算，式中，为所有的算术平均值；为相关系数，根据所需精度确定；为Y方向上的采样点数；若小于直线度衡量指标，则判断该测试图案在Y方向上的直线度满足要求，否则不满足；根据每个测试图案对应的所标记的X方向上的各，计算，式中，为所有的算术平均值；为相关系数，根据所需精度确定；为X方向上的采样点数；若小于直线度衡量指标，则判断该测试图案在X方向上的直线度满足要求，否则不满足。

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