株式会社斯库林集团石丸慧获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115602572B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210668170.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理方法是由石丸慧;塚原隆太;石川秀和;竹松佑介设计研发完成，并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明的课题在于抑制基板处理中的吸引动作引起的不良情况。基板处理方法具备通过从多联阀向吸引配管供给清洗液来清洗吸引配管内部的步骤，基板处理装置具备：至少能够选择性地供给用于处理基板的处理液和用于进行清洗的清洗液中的至少一方的多联阀；用于向基板喷出处理液的处理液喷嘴；连接多联阀与处理液喷嘴的连接配管；以及从连接配管分支设置且用于吸引连接配管内部的吸引配管。
本发明授权基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，是使用用于对基板进行处理的基板处理装置的基板处理方法，其特征在于， 所述基板处理装置具备： 多联阀，其至少能够选择性地供给用于处理所述基板的处理液和用于进行清洗的清洗液中的至少一方； 处理液喷嘴，其用于向所述基板喷出所述处理液； 连接配管，其连接所述多联阀与所述处理液喷嘴；以及 吸引配管，其从所述连接配管分支地设置，并且用于吸引所述连接配管内部， 所述多联阀设有：用于对所述多联阀内的所述处理液和所述清洗液中的至少一方进行排液的排液配管及进行所述排液配管的开闭的第一阀；以及在与所述连接配管连接的连接部的下游侧且所述分支的上游侧进行对所述连接配管的开闭的第二阀， 所述吸引配管设有进行对所述吸引配管的开闭的第三阀， 在通过使所述第一阀打开且使所述第二阀关闭，向所述排液配管内供给所述清洗液而进行清洗之后，使所述第一阀关闭且使所述第二阀及第三阀打开，向所述吸引配管内供给所述清洗液。
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