上海新傲科技股份有限公司李飞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新傲科技股份有限公司申请的专利氧化片的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692182B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211432238.2，技术领域涉及：H01L21/18；该发明授权氧化片的制备方法是由李飞;张雅荣设计研发完成，并于2022-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本氧化片的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种氧化片的制备方法。所述氧化片的制备方法包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底包括单晶硅和二氧化硅，所述单晶硅边缘含有氢离子；在含有氩气的气氛中对所述衬底进行退火，使氢离子溢出衬底；采用氢氟酸稀溶液清洗所述衬底上的二氧化硅，得到单晶硅；平坦化所述单晶硅；在所述单晶硅表面形成氧化层，得到所述氧化片。上述技术方案，在氢氟酸清洗之前通入氩气退火，使残留的氢离子溢出硅片，通过氩气修复衬底表面结构，使氧化后的衬底减少形变，提高氧化片的质量。
本发明授权氧化片的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底包括单晶硅和二氧化硅，所述单晶硅边缘含有氢离子；在含有氩气的气氛中对所述衬底进行退火，使氢离子溢出衬底，对所述衬底进行退火的温度为600℃，退火时长为2小时，氩气以25Lmin的流速通入；采用氢氟酸稀溶液清洗所述衬底上的二氧化硅，得到单晶硅；平坦化所述单晶硅；在所述单晶硅表面形成氧化层，得到所述氧化片。
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