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龙图腾网获悉无锡中微掩模电子有限公司申请的专利一种新型离子束修补机静电消除装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115734442B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211456340.6，技术领域涉及：H05F3/04；该发明授权一种新型离子束修补机静电消除装置是由华卫群;刘维维;薛文卿设计研发完成，并于2022-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型离子束修补机静电消除装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种新型离子束修补机静电消除装置，该静电消除装置包括：真空紫外灯管，整体呈T型，并具有竖直部和水平部，其中竖直部的直径小于所述水平部的直径，该真空紫外灯管为中空状；支撑组件，设置在所述真空紫外灯管的底部，该支撑组件具有平移部和旋转部，所述平移部由动丝杆滑座以及放置在动丝杆滑座底部的定丝杆滑座构成，所述旋转部底端设置在所述动丝杆滑座的顶端面上，其中动丝杆滑座在所述定丝杆滑座上沿Y轴方向运动；本发明运用真空紫外线电离大量气体分子，从而在真空中有效去除静电荷，解决静电影响离子束修补机修补精度的问题。

本发明授权一种新型离子束修补机静电消除装置在权利要求书中公布了：1.一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：该静电消除装置包括：真空紫外灯管，整体呈T型，并具有竖直部和水平部，其中竖直部的直径小于所述水平部的直径，该真空紫外灯管为中空状；支撑组件，设置在所述真空紫外灯管的底部，该支撑组件具有平移部和旋转部，所述平移部由动丝杆滑座以及放置在动丝杆滑座底部的定丝杆滑座构成，所述旋转部底端设置在所述动丝杆滑座的顶端面上，其中动丝杆滑座在所述定丝杆滑座上沿Y轴方向运动，而所述旋转部在所述动丝杆滑座上沿X轴方向运动，所述旋转部顶端与所述真空紫外灯管竖直部连接；控制组件，与所述真空紫外灯管电连接；所述定丝杆滑座的顶部滑动设置有滑块二，所述滑块二的顶部开设有供动丝杆滑座卡入的槽，且两者通过螺栓固定，在所述滑块二的两侧还固定有支撑板，该支撑板与所述动丝杆滑座底端面固定；所述动丝杆滑座的顶部内侧滑动连接有滑块一，旋转柱的底部开设有环槽，在所述滑块一的顶部开设有供旋转柱卡入的放置槽，所述滑块一的两侧旋入有限位螺栓，该限位螺栓嵌入至所述环槽的内侧；所述动丝杆滑座与定丝杆滑座均由两个固定座以及安装在固定座内部的丝杆构成，所述滑块一与滑块二均滑动设置在丝杆上；所述环槽的内侧宽度小于或等于所述限位螺栓端部直径，所述限位螺栓的断面与所述环槽的内壁贴合或分离；所述旋转柱的顶部套设在真空紫外灯管竖直部上，且旋转柱的内径等于所述竖直部外径；所述真空紫外灯管的内部还设置有管道，该管道贯穿至真空紫外灯管外部，在两者连接处还安装有密封圈；所述控制组件包括控制盒，所述控制盒上设置有开关和控制器，所述开关与控制器通过电线与所述真空紫外灯管电连接；所述动丝杆滑座与定丝杆滑座呈垂直状分布，且两者等长。

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