三序光学科技(苏州)有限公司朱兵兵获国家专利权
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龙图腾网获悉三序光学科技(苏州)有限公司申请的专利一种柔性光电压电一体式传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115996622B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211564937.2，技术领域涉及：H10N39/00；该发明授权一种柔性光电压电一体式传感器及其制备方法是由朱兵兵;宁玲设计研发完成，并于2022-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种柔性光电压电一体式传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种柔性光电压电一体式传感器及其制备方法，该传感器包括柔性衬底，柔性衬底表面结区生长有三维纳米结构，柔性衬底底部设电极，三维纳米结构表面覆盖有石墨烯层，石墨烯层通过导电电极引出。本发明中，利用柔性衬底实现了器件的柔性弯曲，利用三维簇状氧化锌阵列的构建实现更高的器件柔韧性，同时增强了陷光作用；利用石墨烯层作为顶层透明电极，在压电传感器中可有效收集分离的电荷，在光电探测器中，石墨烯作为异质结的一部分用于光生载流子分离实现光电探测，实现了光电压电一体式传感器的构建；三维纳米结构的密度和长度均可调节，能够匹配不同的压力传感探测的需求，通过调控石墨烯层的层数可调控器件对红外光的探测能力。
本发明授权一种柔性光电压电一体式传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种柔性光电压电一体式传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1提供一氧化硅片，对其进行湿法刻蚀减薄或使用深硅刻蚀进行减薄，得到柔性衬底； 2在步骤1所得柔性衬底表面旋涂光刻胶，旋涂后进行烘干； 3使用掩模版曝光结区，曝光后进行显影，暴露出结区； 4对步骤3所得柔性衬底进行湿法刻蚀或干法刻蚀； 5在步骤4所得柔性衬底上沉积籽晶层； 6去除光刻胶，去除光刻胶后仅结区留有籽晶层，而后对柔性衬底进行退火处理； 7在退火后的柔性衬底上旋涂电子束光刻胶，并进行曝光显影，获得结区的孔阵列，孔的间距通过掩膜图案的设计进行调控； 8在结区孔阵列中生长三维纳米结构； 9去除剩余的电子束光刻胶； 10在三维纳米结构表面覆盖若干层石墨烯层； 11使用掩模版遮挡结区，在石墨烯层表面蒸镀金作为导电电极，在柔性衬底底部涂抹铟镓合金电极作为底电极。
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