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上海广川科技有限公司曹洁获国家专利权

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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116030467B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211159351.8,技术领域涉及:G06V30/146;该发明授权一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置是由曹洁;马刚;张贤龙;刘恩龙;乐佳浩;朱运东设计研发完成,并于2022-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置,在基板上设置有旋转夹持机构、第一平板、第二平板和第三平板,该第一平板、第二平板、第三平板分别与第一侧面对准机构、第二侧面调整机构、第三侧面调整机构相连,旋转夹持机构与PA设备中的晶圆支撑台相配合,用于夹持或者释放晶圆支撑台;第一侧面对准机构用于调整第一平板与PA设备中基座的一个侧面之间的间隙;第二侧面调整机构用于调整OCR设备的第一侧面的角度并记录其和第二平板的相对位置;第三侧面调整机构用于调整OCR设备的第二侧面的角度并记录其和第三平板的相对位置;在OCR设备的上方设置有高度检测机构,用于测量OCR设备的顶部与基板之间的间距。

本发明授权一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置,其特征在于:包括基板,在所述基板上设置有旋转夹持机构、第一平板、第二平板和第三平板,所述第一平板与第一侧面对准机构相连,所述第二平板与第二侧面调整机构相连,所述第三平板与第三侧面调整机构相连, 所述旋转夹持机构与PA设备中的晶圆支撑台相配合,采用三爪夹持结构,用于夹持或者释放晶圆支撑台; 所述第一侧面对准机构用于调整第一平板与PA设备中基座的一个侧面之间的间隙,使两者相接触;所述第二侧面调整机构用于调整OCR设备的第一侧面的位置和角度,使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID,并记录第一侧面和第二平板的相对位置;所述第三侧面调整机构用于调整OCR设备的第二侧面的位置和角度,使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID,并记录第二侧面和第三平板的相对位置,所述第一侧面和第二侧面相连接; 在所述OCR设备顶部的上方设置有高度检测机构,所述高度检测机构用于测量OCR设备的顶部与基板之间的间距; 其中所述高度检测机构包括笔状的标高尺,所述标高尺的笔尖穿过基板朝向OCR设备的顶面设置,在所述基板对应标高尺位置的侧面设置有第四旋钮,所述第四旋钮穿过基板与标高尺活动接触;旋松第四旋钮,标高尺相对基板上下移动,以使标高尺的笔尖与OCR设备的顶面相接触;旋紧第四旋钮,锁定标高尺在基板的位置; 所述旋转夹持机构包括星形旋钮,所述星形旋钮的转轴穿过基板与凸轮的中心连接,所述凸轮与两个挡块间隔120度设置在晶圆支撑台周围,旋转星形旋钮,改变凸轮与晶圆支撑台的接触位置,实现对晶圆支撑台的夹持或者释放。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海广川科技有限公司,其通讯地址为:200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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