胜高股份有限公司川崎悠平获国家专利权
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龙图腾网获悉胜高股份有限公司申请的专利卧式热处理炉、热处理方法及硅晶圆的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116130379B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211346527.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权卧式热处理炉、热处理方法及硅晶圆的制造方法是由川崎悠平;品川正行;草场辰己设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本卧式热处理炉、热处理方法及硅晶圆的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供晶圆面内的温度分布变得均匀的卧式热处理炉、热处理方法及硅晶圆的制造方法。本发明的卧式热处理炉1具备炉芯管11、加热器15、门13、晶圆舟16、17、叉18，前述炉芯管11在一端具有开口部12，前述加热器15将前述炉芯管包围，前述门13将前述炉芯管的开口部开放及关闭，前述晶圆舟16、17配置于前述炉芯管的内部，搭载立起状态的晶圆W，前述叉18在前述炉芯管的内部从前述门沿水平方向延伸，支承前述晶圆舟，卧式热处理炉1的特征在于，前述叉18具有支承前述晶圆舟的框部181、被前述框部181围绕的空间部182。
本发明授权卧式热处理炉、热处理方法及硅晶圆的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种卧式热处理炉，前述卧式热处理炉具备炉芯管、加热器、门、晶圆舟、叉、支柱部、升降机构， 前述炉芯管在一端具有开口部， 前述加热器将前述炉芯管包围， 前述门将前述炉芯管的开口部开放及关闭， 前述晶圆舟配置于前述炉芯管的内部，搭载立起状态的晶圆， 前述叉在前述炉芯管的内部从前述门沿水平方向延伸，支承前述晶圆舟， 前述支柱部被在前述叉的末端部和前述炉芯管的内表面之间设置，沿垂直方向延伸， 前述升降机构设置于前述门，使前述叉升降， 前述卧式热处理炉的特征在于， 前述叉具有支承前述晶圆舟的框部、被前述框部围绕的空间部。
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