浙江众凌科技有限公司叶大成获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种金属掩膜版光罩组件及金属掩膜版基材的曝光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116184772B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310089665.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种金属掩膜版光罩组件及金属掩膜版基材的曝光方法是由叶大成;朱友宏;赵敏;沈洵;徐华伟;夏金晓设计研发完成，并于2023-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种金属掩膜版光罩组件及金属掩膜版基材的曝光方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种金属掩膜版光罩组件及金属掩膜版基材的曝光方法，包括：光罩，具有第一平面和第二平面，所述第一平面具有切角，所述切角宽度D1小于光罩厚度T的一半；夹爪治具，贴合于光罩上下端面，包括治具本体和设置于治具本体一侧且贴合切角设置的贴合部；所述夹爪治具的治具本体挤压于光罩上下端面致使光罩朝向第一平面形成微小凸起。本发明设置了切角和与之对应的夹爪治具，实现了挤压力的分散，同时使得光罩产生定向的微小形变将光罩与基材之间的空气由中心往外挤出，减少空泡产生。
本发明授权一种金属掩膜版光罩组件及金属掩膜版基材的曝光方法在权利要求书中公布了：1.一种金属掩膜版基材的曝光方法，其特征在于，使用一种金属掩膜版光罩组件靠近基材进行双面接触式曝光，将光罩1上图形转印至光刻胶上； 所述金属掩膜版光罩组件包括：光罩1，具有第一平面11和第二平面12，所述第一平面11具有切角13，所述切角13宽度D1小于光罩1厚度T的一半； 夹爪治具2，贴合于光罩1上下端面，包括治具本体21和设置于治具本体21一侧且贴合切角13设置的贴合部22； 所述夹爪治具2的治具本体21挤压于光罩1上下端面致使光罩1朝向第一平面11形成微小凸起；在进行曝光时，其中部的微小凸起会先接触基材表面，将光罩与基材之间的空气由中心往外挤出，减少空泡产生。
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