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清华大学高兆艳获国家专利权

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龙图腾网获悉清华大学申请的专利可用于真空互联的样品预处理系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116202837B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310117600.5,技术领域涉及:G01N1/28;该发明授权可用于真空互联的样品预处理系统是由高兆艳;吴华强;伍晓明设计研发完成,并于2023-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

可用于真空互联的样品预处理系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种可用于真空互联的样品预处理系统,该系统的快速进样腔组件包括进样腔体和第一传样杆,进样腔体上设有进出样窗,第一传样杆与进样腔体相连;该系统的预处理主腔组件包括主腔体、样品台、第二传样杆和机械手,样品台位于主腔体内,主腔体设有与进样腔体相连的第一插板阀、用于外接第一真空设备的第二插板阀和用于外接第二真空设备的第三插板阀;第二传样杆和机械手均与主腔体相连;第一传样杆用于在进样腔室、样品台和第一真空设备之间传送样品托;第二传样杆用于在样品台和第二真空设备之间传送样品托;机械手用于对样品台上的样品托进行原位翻转。本发明能够实现样品朝向不同的不同真空设备之间的真空互联。

本发明授权可用于真空互联的样品预处理系统在权利要求书中公布了:1.一种可用于真空互联的样品预处理系统,其特征在于,包括: 快速进样腔组件,所述快速进样腔组件包括进样腔体和第一传样杆,所述进样腔体内限定出进样腔室,所述进样腔体上设有进出样窗,所述第一传样杆与所述进样腔体相连,且所述第一传样杆的一端可进退地设置在所述进样腔室中; 预处理主腔组件,所述预处理主腔组件包括主腔体、样品台、第二传样杆和机械手,所述主腔体内限定出主腔室,所述样品台位于所述主腔室中,所述主腔体设有与所述进样腔体相连的第一插板阀、用于外接第一真空设备的第二插板阀和用于外接第二真空设备的第三插板阀;所述第二传样杆与所述主腔体相连且所述第二传样杆的一端可进退地设置在所述主腔室中;所述机械手与所述主腔体相连且所述机械手的一端可进退且可旋转地伸入所述主腔室中; 所述第一传样杆用于在所述进样腔室、所述样品台和所述第一真空设备之间传送样品托;所述第二传样杆用于在所述样品台和所述第二真空设备之间传送所述样品托;所述机械手用于对所述样品台上的所述样品托进行原位翻转,以使所述样品托的衬底朝上或朝下;所述第一插板阀、所述样品台和所述第二插板阀布置在所述第一传样杆的进退路线上;所述第三插板阀和所述样品台布置在所述第二传样杆的进退路线上,所述第一传样杆的进度路线与所述第二传样杆的进退路线在水平面上呈十字布置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人清华大学,其通讯地址为:100084 北京市海淀区清华园1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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