川崎重工业株式会社清水一平获国家专利权
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龙图腾网获悉川崎重工业株式会社申请的专利基板保持机械手和基板搬运机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116325108B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080103710.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板保持机械手和基板搬运机器人是由清水一平设计研发完成，并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持机械手和基板搬运机器人在说明书摘要公布了：该基板保持机械手1具备：框架31；叶片32，其支承基板W；安装部件33，其用于支承叶片并将叶片安装于框架；以及倾斜调整机构34，其通过调整安装部件相对于框架的倾斜，从而能够调整在从侧方观察叶片的情况下叶片相对于水平方向的倾斜。
本发明授权基板保持机械手和基板搬运机器人在权利要求书中公布了：1.一种基板保持机械手，其特征在于，具备： 框架； 叶片，其支承基板； 安装部件，其用于支承所述叶片并将所述叶片安装于所述框架；以及 倾斜调整机构，其通过调整所述安装部件相对于所述框架的倾斜，从而能够调整在从侧方观察所述叶片的情况下所述叶片相对于水平方向的倾斜， 所述安装部件包括用于将所述叶片的基端部的一侧和另一侧分别安装于所述框架的一对安装部件， 所述倾斜调整机构通过调整所述一对安装部件的倾斜，来调整在从侧方观察所述叶片的情况下所述叶片相对于水平方向的倾斜。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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