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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利喷出压力评价方法、喷出压力评价程序、记录介质及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116337315B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211536782.1，技术领域涉及：G01L11/00；该发明授权喷出压力评价方法、喷出压力评价程序、记录介质及基板处理装置是由木村崇也;安陪裕滋;冈本悟史设计研发完成，并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本喷出压力评价方法、喷出压力评价程序、记录介质及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种喷出压力评价方法，能够将从开始从喷嘴喷出处理液起到结束为止的整个期间中的喷出压力适当与否反映到喷出压力的评价中。在从开始从喷嘴71喷出涂敷液处理液起到结束从喷嘴71喷出涂敷液为止的喷出期间Tt第一期间中，测定喷出压力。然后，提取整个喷出期间Tt中的喷出压力的时间变化所具有的理想梯形绝对误差作为特征量Fv1第一特征量，基于该特征量Fv1来评价喷出压力的时间变化。

本发明授权喷出压力评价方法、喷出压力评价程序、记录介质及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种喷出压力评价方法，其中，具备： 通过对处理液施加喷出压力而从喷嘴喷出处理液的喷出装置，在至少包括从开始从所述喷嘴喷出处理液起经过所述喷出压力上升到规定压力直到所述喷出压力开始从所述规定压力减少为止的主要期间的评价对象期间中，测定所述喷出压力的工序； 提取整个所述评价对象期间中的所述喷出压力的时间变化所具有的特征量作为整体特征量的工序；以及 基于所述整体特征量来评价所述喷出压力的时间变化的工序， 所述评价对象期间是所述主要期间， 提取整个所述主要期间中的所述喷出压力的时间变化所具有的特征量即主要特征量作为所述整体特征量， 所述主要特征量表示对整个所述主要期间中的所述喷出压力的时间变化进行了近似的主要近似波形与整个所述主要期间中的所述喷出压力的时间变化之差， 所述主要近似波形具有： 上升近似直线，在开始从所述喷嘴喷出处理液后，通过对伴随时间经过而增大的所述喷出压力的时间变化进行直线近似，从喷出开始压力伴随时间经过而线性地增大到比所述喷出开始压力大的恒定压力为止； 开始时近似直线，设置在从所述喷嘴喷出处理液的开始时刻与所述上升近似直线之间，并表示所述喷出开始压力；以及 恒定直线，设置在从所述上升近似直线达到所述恒定压力起到所述主要期间的最终为止的期间，并表示所述恒定压力。

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