厦门恒坤新材料科技股份有限公司牛玉芳获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门恒坤新材料科技股份有限公司申请的专利一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116678963B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310421822.6,技术领域涉及:G01N30/02;该发明授权一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法是由牛玉芳;毛鸿超;王静设计研发完成,并于2023-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法在说明书摘要公布了:本发明属于光刻胶领域,涉及一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法,包括:将未固化的光刻胶依次进行加热处理、研磨、浸提、过滤,再将所得待测清液进行LC‑MS检测,得到LC‑MS总离子流色谱图;在正离子模式下,从LC‑MS总离子流色谱图中获取光致产酸剂中正离子的分子式;在负离子模式下,从LC‑MS总离子流色谱图中获取光致产酸剂中负离子的分子式;根据所获取的正负离子的分子式判断光刻胶中光致产酸剂的具体分子式。采用本发明提供的方法能够准确鉴定光刻胶中的光致产酸剂。
本发明授权一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法在权利要求书中公布了:1.一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法,待鉴定的光致产酸剂为硫鎓盐类光致产酸剂,其特征在于,包括以下步骤: S1、预处理:将未固化的光刻胶在150~250℃下加热处理2~30min,再将所得固化光刻胶进行研磨,之后将所得光刻胶粉末采用提取液进行浸提后过滤,所得滤液即为待测清液;所述提取液为乙腈和或甲醇; S2、LC-MS分析检测:将待测清液采用液相色谱质谱联用仪分别以正负离子模式进行LC-MS检测;所述LC-MS检测过程中LC分析检测流动相中的水相为甲酸铵和或乙酸铵的水溶液,有机相为甲醇;在检测过程中选择全扫描模式扫描,得到LC-MS总离子流色谱图; S3、结构鉴定:在正离子模式下,从LC-MS总离子流色谱图中找到较强的色谱峰,生成对应的质谱图,在质谱图中对质谱峰进行生成分子式的操作,在确定元素组成可能为C、H、O、S和I以及离子模式为M+的情况下,通过液相色谱质谱联用仪对应的软件生成分子式,匹配结果达到95%以上的即为光致产酸剂中正离子的分子式;在负离子模式下,从LC-MS总离子流色谱图中找到较强的色谱峰,生成对应的质谱图,在质谱图中对质谱峰进行生成分子式的操作,在确定元素组成可能为C、H、O、N、S和F以及离子模式为M-的情况下,通过液相色谱质谱联用仪对应的软件生成分子式,匹配结果达到95%以上的即为光致产酸剂中负离子的分子式;根据所获取的正负离子的分子式判断光刻胶中光致产酸剂的具体分子式。
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