万桦(常州)新材料科技有限公司傅一非获国家专利权
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龙图腾网获悉万桦(常州)新材料科技有限公司申请的专利一种CMP抛光垫泡孔凝固工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116985049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310978536.X，技术领域涉及：B24D11/00；该发明授权一种CMP抛光垫泡孔凝固工艺是由傅一非;杭永清;李良军;袁栋设计研发完成，并于2023-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CMP抛光垫泡孔凝固工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种CMP抛光垫泡孔凝固工艺，包括如下步骤，在PET膜的表面涂覆工作浆，工作浆的厚度为0.15‑0.20mm，工作浆固化形成凝固层后，得到凝固膜；将凝固膜清洗后，进行收卷，得到干膜；将干膜中的PET膜分离，得到粗品；将粗品清洗后烘干，再进行收卷，得到半成品；在半成品上覆合PET膜，得到待处理膜；对待处理膜的表面进行打磨，打磨后待处理膜的厚度减少0.08‑0.12mm，得到CMP抛光垫。本申请的工艺能够得到两侧表面均较为平整的CMP抛光垫，有助于减少CMP抛光垫的表面形貌测量误差。
本发明授权一种CMP抛光垫泡孔凝固工艺在权利要求书中公布了：1.一种CMP抛光垫泡孔凝固工艺，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一：在PET膜的表面涂覆工作浆，工作浆的厚度为0.15-0.20mm，工作浆固化形成凝固层后，得到凝固膜； 步骤二：将凝固膜清洗后，进行收卷，得到干膜； 步骤三：将干膜中的PET膜分离，得到粗品； 步骤四：将粗品清洗后烘干，再进行收卷，得到半成品； 步骤五：在半成品上原先与PET膜粘接的表面上再次覆合一层PET膜，得到待处理膜； 步骤六：对待处理膜背离PET膜的表面进行打磨，打磨后待处理膜的厚度减少0.08-0.12mm，得到CMP抛光垫。
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