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龙图腾网获悉四川大学申请的专利一种振动式气相沉积装置及气相沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116988042B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310895973.5，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种振动式气相沉积装置及气相沉积方法是由钟山;杨柯;唐思扬;于洋洋;李红娇;宋磊;梁斌设计研发完成，并于2023-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种振动式气相沉积装置及气相沉积方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种振动式气相沉积装置及气相沉积方法，该方法包括以下步骤：步骤1、将基底置于反应室中，对反应室进行加热和振动；步骤2、将第一前驱体源和第二前驱体源同时或先后直接输送至反应室中，利用反应室的热量促使第一前驱体源汽化，促使第一前驱体源和第二前驱体源之间发生反应、和或第一前驱体源与基底之间发生反应，最终在基底表面沉积上膜层材料；步骤3、步骤2反应结束后，将真空泵与反应室连通，将反应室内的多余气体和反应副产物排出制得；其中，第一前驱体源为氯化物，第二前驱体源为湿空气。本发明中通过振动对基体颗粒产生较大扰动，让基体处于运动、分散状态，利于基体与前驱体充分接触，实现基体较大批量的气相沉积。

本发明授权一种振动式气相沉积装置及气相沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种采用振动式气相沉积装置进行气相沉积的方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、将基底置于反应室中，对反应室进行加热和振动； 步骤2、将第一前驱体源和第二前驱体源同时或先后直接输送至反应室中，利用反应室的热量促使第一前驱体源汽化，促使第一前驱体源和第二前驱体源之间发生反应或第一前驱体源与基底之间发生反应，最终在基底表面沉积上膜层材料； 步骤3、步骤2反应结束后，将真空泵与反应室连通，将反应室内的多余气体和反应副产物排出制得； 其中，第一前驱体源为氯化物，第二前驱体源为湿空气； 所述振动式气相沉积装置包括： 反应单元，包括反应室110，为所述反应室110进行加热的加热机构120，以及为反应室提供垂直振动的振动机构130； 进样单元，包括位于所述反应室110上的第一接口210和第二接口220，与所述第一接口和第二接口通过第一阀门230和第二阀门240分别连接的第一前驱体源和第二前驱体源，以及设置于所述反应室110内且位于所述第一接口下方的圆筒250，所述圆筒用于盛放第一前驱体源且圆筒上设有气孔260； 抽气单元，包括位于所述反应室110上的第三接口310和第四接口320，与所述第三接口310通过第三阀门330连接的真空泵，以及与所述第四接口320连接的压力检测器； 所述反应室110包括反应筒111，位于所述反应筒111顶部且与反应筒通过法兰连接的端盖112，位于所述反应筒内底壁上的凹槽113，所述凹槽有多个且呈同心圆分布；其中，所述第一接口、第二接口、第三接口和第四接口均位于所述端盖上，所述圆筒一端与所述端盖连接且其另一端朝反应筒底部延伸。

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