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龙图腾网获悉苏州清越光电科技股份有限公司;义乌清越光电技术研究院有限公司申请的专利一种蒸镀压合系统及其破真空压力自适应控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117070898B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311064734.1，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种蒸镀压合系统及其破真空压力自适应控制方法是由毛浩浩;杨宗苓;梁永朋;任晓莹;李勇;程清;马中生设计研发完成，并于2023-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种蒸镀压合系统及其破真空压力自适应控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种蒸镀压合系统及其破真空压力自适应控制方法，其系统包括：压合平台用于吸附屏体并转运，压合平台与屏体的接触面上设置有出气孔，出气孔通过气管与破真空气源相连，电磁气压调节阀串连于气管上，机械手承载压合平台送来的屏体并完成转运，压合平台与机械手设置在蒸镀腔室中，在蒸镀腔室中还设置有气压检测单元，控制单元的数据输入端与气压检测单元相连，控制输出端与电磁气压调节阀相连，用于根据蒸镀腔室内的气压调整电磁气压调节阀的输出的气体气压。本申请通过结构调整，配合控制方法对于压力参数进行计算与控制，实现破真空压力的自适应调整，降低屏体意外损坏率，保障生产工作的持续稳定运行。

本发明授权一种蒸镀压合系统及其破真空压力自适应控制方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀压合系统，其特征在于，包括： 压合平台1，用于吸附屏体6并转运，所述压合平台1与所述屏体6的接触面上设置有若干个出气孔13，所述若干个出气孔13通过气管23与破真空气源22相连； 电磁气压调节阀21，串连于所述气管23上，用于控制破真空气源22通向所述若干个出气孔13的气体气压，进而控制由所述若干个出气孔13所送出的破真空气体的气压； 机械手3，用于承载所述压合平台1送来的屏体6并完成转运； 蒸镀腔室4，所述压合平台1与机械手3设置在所述蒸镀腔室4中； 气压检测单元41，设置于所述蒸镀腔室4中，用于检测蒸镀腔室4中的气压； 控制单元5，数据输入端与所述气压检测单元41相连，控制输出端与所述电磁气压调节阀21相连，用于根据所述蒸镀腔室4内的气压调整所述电磁气压调节阀21的输出的气体气压，所述控制单元5中配置有气压差目标值P1，根据所述气压差目标值P1与所述蒸镀腔室4中的气压P2确定所述电磁气压调节阀21的输出的气体气压P3，其中，P3＝P1+P2。

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