买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海空间推进研究所申请的专利霍尔等离子体对有机靶材溅射产额的预估方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117198412B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311086070.9，技术领域涉及：G16C10/00；该发明授权霍尔等离子体对有机靶材溅射产额的预估方法及系统是由于博;王宣;刘佳;田雷超;张岩;刘鹏;夏启蒙设计研发完成，并于2023-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本霍尔等离子体对有机靶材溅射产额的预估方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种霍尔等离子体对有机靶材溅射产额的预估方法及系统，包括：靶材分子或分子团预估步骤：当入射离子能量达到破坏范德华作用的溅射阈值时，计算溅射出的分子或分子团的溅射产额，并对溅射产物为分子或分子团的运动状态进行预估；断键产物预估步骤：划分靶材分子的断键产物种类，并设定每一类产物对应的溅射阈值，当入射离子能量达到每一类产物对应的溅射阈值时，计算断键产物的溅射产额，并对溅射产物为断键产物的运动状态进行预估。本发明提供一种霍尔等离子体对有机靶材的溅射产额预估方法，可针对霍尔等离子体与所有相接触的有机靶材的表面溅射程度进行预估，溅射产物种类与试验检测数据相符，溅射产额计算误差可达20％以内。

本发明授权霍尔等离子体对有机靶材溅射产额的预估方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种霍尔等离子体对有机靶材溅射产额的预估方法，其特征在于，包括： 靶材分子或分子团预估步骤：当入射离子能量达到破坏范德华作用的溅射阈值时，计算溅射出的分子或分子团的溅射产额，并对溅射产物为分子或分子团的运动状态进行预估； 断键产物预估步骤：划分靶材分子的断键产物种类，并设定每一类产物对应的溅射阈值，当入射离子能量达到每一类产物对应的溅射阈值时，计算断键产物的溅射产额，并对溅射产物为断键产物的运动状态进行预估； 计算溅射出的分子或分子团的溅射产额包括如下子步骤： 步骤S1：计算第一溅射角度系数，计算公式如下： 其中，表示第一溅射角度系数，表示与靶材分子结构相关的系数，表示离子入射角度； 步骤S2：根据所述第一溅射角度系数，计算靶材分子或分子团的溅射产额，计算公式如下： 其中，表示靶材分子或分子团的溅射产额，表示靶材分子的阻止截面，表示电子的阻止截面，表示第一溅射阈值，表示离子入射能量； 断键产物是指靶材分子断键后的某个残缺结构，计算断键产物的溅射产额包括如下子步骤： 步骤A：计算第二溅射角度系数，计算公式如下： 其中，表示第i个断键产物的第二类溅射角度系数，表示离子入射角度，表示断键产物的阻止截面，表示靶材分子的阻止截面； 步骤B：根据所述第二溅射角度系数，计算断键产物的溅射产额，计算公式如下： 其中，表示第i个断键产物的溅射产额，表示表面温度，表示电子的阻止截面，表示第i类化学键键长，表示第i个断键产物的第二溅射阈值，表示离子入射能量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海空间推进研究所，其通讯地址为：201112 上海市闵行区浦江镇万芳路801号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。