星钥(珠海)半导体有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉星钥(珠海)半导体有限公司申请的专利一种抛光垫安装装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117325095B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311543812.6,技术领域涉及:B24D18/00;该发明授权一种抛光垫安装装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2023-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光垫安装装置在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体领域,公开了一种抛光垫安装装置,包括抛光垫吸附盘、顶压部件、升降部件、负压管路,顶压部件与升降部件连接;抛光垫吸附盘的中间设有通孔,顶压部件插入通孔中,并在升降部件的驱动下上下移动,以在安装时将抛光垫的中心位置粘贴在抛光盘上;抛光垫吸附盘上分布有至少两个气孔阵列,气孔阵列按照目标方向依次排布;目标方向为远离抛光垫吸附盘的中间的方向;气孔阵列包括多个第一气孔,第一气孔与负压管路连接,以真空吸附抛光垫;在安装抛光垫时气孔阵列按照目标方向依次释放真空。通过该装置可以从中间向外侧分区粘贴抛光垫,减少气泡的产生;粘贴过程是自动完成的,粘贴效率提高,人力成本降低,同时减少抛光垫报废的概率。
本发明授权一种抛光垫安装装置在权利要求书中公布了:1.一种抛光垫安装装置,其特征在于,包括抛光垫吸附盘、顶压部件、升降部件、负压管路,所述顶压部件与所述升降部件连接; 所述抛光垫吸附盘的中间设有通孔,所述顶压部件插入所述通孔中,并在所述升降部件的驱动下上下移动,以在安装时将抛光垫的中心位置粘贴在抛光盘上; 所述抛光垫吸附盘上分布有至少两个气孔阵列,所述气孔阵列按照目标方向依次排布;所述目标方向为远离所述抛光垫吸附盘的中间的方向; 所述气孔阵列包括多个第一气孔,所述第一气孔与所述负压管路连接,以真空吸附抛光垫;在安装抛光垫时所述气孔阵列按照所述目标方向依次释放真空。
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