得八益十意恩至有限公司李泽烨获国家专利权
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龙图腾网获悉得八益十意恩至有限公司申请的专利改善清洗性能的超音波清洗单元及包括其的基板清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117619816B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310972031.2，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权改善清洗性能的超音波清洗单元及包括其的基板清洗设备是由李泽烨设计研发完成，并于2023-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本改善清洗性能的超音波清洗单元及包括其的基板清洗设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种通过对于超音波清洗单元的清洗头的结构改善，能够提高整体性的基板清洗性能的改善清洗性能的超音波清洗单元，包括：驱动单元，其接收外部电源，使得内部的振动器发生振动；以及清洗头，其形成为从所述驱动单元的底部向下突出，与所述振动器声耦合而将高频率声波能量传送给基板上的清洗液，并且，在所述清洗头的底部表面的边缘包括具有与基板的外廓圆对应的曲率的弧线部分。
本发明授权改善清洗性能的超音波清洗单元及包括其的基板清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种超音波清洗单元，其特征在于，包括： 驱动单元，用于接收外部电源，并使得内部的振动器发生振动；以及 清洗头，形成为从所述驱动单元的底部向下突出，所述清洗头具有越向底部越宽大的截面积，从而与所述振动器声耦合而通过所述清洗头的宽大的底部表面将高频率声波能量传送给基板上的清洗液， 其中，在所述清洗头的底部表面的边缘包括形成为具有与所述基板的外廓圆对应的曲率的弧线部分， 其中，所述清洗头的所述底部表面的所述边缘由如下结构形成而分隔所述底部表面的所述边缘：两个直线部分，形成为在水平方向彼此面对地分隔的直线；两个弧线部分，形成为在所述两个直线部分之间在垂直方向彼此面对地分隔的弧线；以及四个曲线部分，形成为连接各个直线部分的末端与各个弧线部分的末端的曲线， 其中，在所述清洗头的所述底部表面形成有沿着所述弧线部分向内侧内凹的阶梯单元， 由此所述阶梯单元防止所述清洗头与支撑所述基板的导引销的结构性干扰。
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