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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种2.5英寸二氧化钒薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117945790B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311306561.X，技术领域涉及：C04B41/87；该发明授权一种2.5英寸二氧化钒薄膜的制备方法是由高敏;张佳佳;林媛;罗毅恒;路畅;潘泰松设计研发完成，并于2023-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种2.5英寸二氧化钒薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：该发明公开了一种2.5英寸二氧化钒薄膜的制备方法，属于二氧化钒薄膜制备技术领域。针对背景技术所存在的采用PAD法制备二氧化钒薄膜时，热处理过程中管式炉内气氛容易发生波动从而影响制备二氧化钒薄膜质量的问题，本发明的目的在于提供一种制备2.5英寸二氧化钒薄膜的整流方法。本发明设计了一套气流均匀装置，使进入管式炉内的气流经过气流均匀装置稳定且均匀地分散在瓷舟周围，从而提供稳定的热处理气氛，使得能够得到高质量的二氧化钒薄膜，且该装置简便易于操作。

本发明授权一种2.5英寸二氧化钒薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种2.5英寸二氧化钒薄膜的制备方法，该方法采用制备装置包括：管式炉进气口处气流产生及控制装置，管式炉，管式炉内气流均匀装置，管式炉出气口处密封及气流检测装置； 所述气流产生及控制装置包括：高压氮气瓶、流量计、气体导管、洗气瓶和水浴装置；氮气瓶提供稳定的高纯氮气，流量计设置在气体导管上可调节氮气流大小，氮气流通过气体导管通入洗气瓶中，洗气瓶中盛放蒸馏水，水浴装置作为热源给洗气瓶加热，使蒸馏水升温蒸发为水蒸气，随氮气流一起通入管式炉中； 所述气流均匀装置包括两个保温炉塞、蜂窝状多孔陶瓷整流器和一个倒置的瓷舟，保温炉塞置于管式炉两侧，可使管式炉内温度均匀，倒置的瓷舟置于管式炉正中，2.5英寸基片置于瓷舟上，将瓷舟倒置可使得流经基片的气流稳定，蜂窝状多孔陶瓷整流器置于瓷舟两侧且位于两个保温炉塞之间，用于将管式炉进气口的氮气和水蒸气气流均匀分散，使流经基片的气流均匀； 所述密封及气流检测装置包括法兰、钢环、胶圈、一根气体导管和盛有水的烧杯，胶圈和钢环套在管式炉出口端，再用法兰密封，管式炉出口气流经过气体导管流入烧杯中，观察烧杯中冒泡速率可检测密封效果，并起到隔绝空气的作用； 水浴装置温度设定在38-44℃； 基于上述制备装置的二氧化钒薄膜制备方法，包括以下步骤： 步骤1.采用PAD方法配制含钒离子的高分子前驱液； 步骤2.将基片分别用丙酮、无水乙醇、去离子水清洗后，用氮气吹干，再将步骤1配制的高分子前驱液旋涂于基片上； 步骤3.将步骤2旋涂了高分子前驱液的基片置于倒置的瓷舟上，将放了样品的瓷舟置于管式炉正中，通入99.999％的纯氮气，流速为0.3-0.5Lmin；在设定好的程序下进行热处理，然后自然冷却至室温，即可在基片上得到二氧化钒薄膜； 所述热处理方法为：先将温度升至100-120℃保温20-30min，除去前驱液中残留的水份，再将温度升至430-450℃保温120-140min，除掉有机物，随后升温到490-550℃保温2-2.5h，得到二氧化钒薄膜。

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