中山智隆新材料科技有限公司袁润获国家专利权
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龙图腾网获悉中山智隆新材料科技有限公司申请的专利一种Al-ITZO靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118459217B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410517965.1，技术领域涉及：C04B35/457；该发明授权一种Al-ITZO靶材及其制备方法和应用是由袁润;高洋;李强设计研发完成，并于2024-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Al-ITZO靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，具体公开了一种Al‑ITZO靶材及其制备方法和应用。本发明的Al‑ITZO靶材制备原料包括氧化铟、氧化锡、氧化锌、氧化铝，还包括粘结剂、增塑剂。本发明的Al‑ITZO靶材在薄膜晶体管TFT器件中作为沟道层材料应用时具备高离子迁移率优势，其迁移率最高可以达到38cm2·V‑1·S‑1以上，相较于IGZO具有大幅提升，该Al‑ITZO靶材的亚阈值摆幅SS值极低，显示出高稳定性的优势，并且本发明的Al‑ITZO靶材成本更低，原料来源更广泛。本发明还提供该Al‑ITZO靶材的制备方法和应用。
本发明授权一种Al-ITZO靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种Al-ITZO靶材，其特征在于，制备原料按重量份数计包括氧化铟51~59份、氧化锡11~19份、氧化锌26~34份、氧化铝2~8份、粘结剂0.5~2份和增塑剂0.5~2份； 所述Al-ITZO靶材由包括以下步骤的制备方法制得： S1、将所述氧化铟、所述氧化锡、所述氧化锌和所述氧化铝混合，研磨，加入所述粘结剂和所述增塑剂混合，得到平均粉体比表面积为10～25m2g的混合物； S2、冷等静压成型，脱脂烧结，即得Al-ITZO靶材； 其中，所述冷等静压成型的压力为100~250MPa，保压时间为10~60min； 所述脱脂烧结具体为：依次在650~750℃保温2~4h，在900~1100℃保温6~10h，在1300~1500℃保温16~24h。
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