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电子科技大学杜江锋获国家专利权

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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种含JFET结构的增强型氮化镓高电子迁移率晶体管获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118899334B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410979061.0,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权一种含JFET结构的增强型氮化镓高电子迁移率晶体管是由杜江锋;胡津玮;田魁元设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种含JFET结构的增强型氮化镓高电子迁移率晶体管在说明书摘要公布了:本发明属于微电子领域,具体为一种含JFET结构的增强型氮化镓高电子迁移率晶体管。本发明通过在增强型GaNHEMT中引入连接栅极和源极的JFET结构,当对栅极施加偏置时,JFET对栅下势垒层钳位,栅极电压完全施加在JFET上,当JFET达到关断电压时,栅极偏置施加在势垒层上并使二维电子气沟道导通,阈值电压由JFET结构关断电压控制,实现了阈值电压和反向导通电压的解耦,致使阈值电压大幅度提升。本发明结构能在显著提高阈值电压的同时降低器件的反向导通电压,减小反向导通损耗;在进行快速开关操作时,p型掺杂氮化镓层感生的电荷可通过连接栅源间的JFET快速释放,提高器件阈值电压的稳定性;并且采用的工艺与传统工艺兼容。

本发明授权一种含JFET结构的增强型氮化镓高电子迁移率晶体管在权利要求书中公布了:1.一种含JFET结构的增强型氮化镓高电子迁移率晶体管,其特征在于: 从下至上依次包括衬底101、缓冲层102、沟道层103、势垒层104; 所述势垒层104上方设有源极108、绝缘介质层105、p型掺杂氮化镓层106和漏极111;其中源极108与势垒层104以及p型掺杂氮化镓层106形成欧姆接触,漏极111与势垒层104形成欧姆接触; 所述p型掺杂氮化镓层106分为两部分,一部分位于绝缘介质层105上方,另一部分位于绝缘介质层105右侧且位于势垒层104上方;位于绝缘介质层105上方部分的p型掺杂氮化镓层106中,还设有n型掺杂氮化镓区域107; 所述n型掺杂氮化镓区域107的上方设有第二栅极110,第二栅极110与n型掺杂氮化镓区域107形成欧姆接触; 所述绝缘介质层105右侧距离为d处,p型掺杂氮化镓层106的上方设有第一栅极109,d0,第一栅极109与p型掺杂氮化镓层106形成肖特基接触;且第一栅极109与第二栅极110进行金属互连形成栅极G; 所述n型掺杂氮化镓区域107与p型掺杂氮化镓层106以及第二栅极110形成了连通源极108与第一栅极109的结型场效应晶体管JFET结构; 整体器件表面的源极108与第二栅极110之间、第二栅极110与第一栅极109之间、以及第一栅极109与漏极111之间均覆盖有一层钝化层112。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人电子科技大学,其通讯地址为:611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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