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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119217254B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411538286.9，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备是由路新春;王宇;张洪蛟设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备，承载头包括：主体部；第一弹性膜，其与主体部的朝向晶圆的表面连接，并与主体部之间限定出中心腔体和多个环形腔体，中心腔体与多个环形腔体均与第一通气管路连通，以使第一弹性膜能够吸附和松脱晶圆，且多个环形腔体中的至少一个朝向晶圆的表面设有多个气孔；第二弹性膜，其位于具有多个气孔的环形腔体内，第二弹性膜能够膨胀和收缩以封堵和敞开气孔；当第二弹性膜膨胀时，第二弹性膜与环形腔体的内壁无接触。本申请实施例提供的一种用于晶圆加工的承载头、装置和晶圆抛光方法，能够避免第二弹性膜充气膨胀与第一弹性膜接触，导致第一弹性膜发生变形。

本发明授权用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加工的承载头，其特征在于，包括： 主体部，其内部具有第一通气管路和第二通气管路； 第一弹性膜，其与主体部的朝向晶圆的表面连接，并与主体部之间限定出中心腔体和多个环形腔体，中心腔体与多个环形腔体均与第一通气管路连通，以使第一弹性膜能够吸附和松脱晶圆，且多个环形腔体中的至少一个朝向晶圆的表面设有多个气孔； 第一弹性膜包括外周纵壁、第一弹性底壁、多个内周纵壁和第一顶壁，第一顶壁与主体部的下表面连接，第一弹性底壁与主体部的下表面之间通过外周纵壁连接，并形成内部腔室，多个内周纵壁均同心设置至外周纵壁的内侧，且多个内周纵壁的直径不同，以将内部腔室分隔为位于中部的圆形的中心腔体和多个与中心腔体同心的环形腔体； 第二弹性膜，其位于具有多个气孔的环形腔体内，第二弹性膜能够与第二通气管路连通，使第二弹性膜膨胀和收缩以封堵和敞开气孔； 当第二弹性膜膨胀时，第二弹性膜与环形腔体的内壁无接触，且第二弹性膜的横截面的底壁的宽度小于环形腔体的横截面的底壁的宽度，第二弹性膜的横截面的顶壁的宽度小于其底壁的宽度； 第二弹性膜的侧壁为具有褶皱的褶皱侧壁，其厚度相对于第一弹性膜的内周纵壁较薄，其弹性相对于内周纵壁较高，且满足，其中，t1为第二弹性膜的侧壁的厚度，b为褶皱侧壁的单个褶皱的宽度。

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