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龙图腾网获悉苏州芯汇晶成半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆加工减薄装置的清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119304765B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411834134.3，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种晶圆加工减薄装置的清洗设备是由杨天生;王小波设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工减薄装置的清洗设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体芯片生产技术领域，尤其为一种晶圆加工减薄装置的清洗设备，包括外壳、用于对晶圆主体进行放置的放置装置和用于对晶圆主体进行清洗的清洗装置，所述外壳左侧前端固定连接有控制主体，所述外壳内固定连接有清洗装置，所述清洗装置内前后两侧均安装有横向设置的托板，所述清洗装置顶部固定连接有电动伸缩主体，本申请中，通过设置的外壳、控制主体、进料槽、电动伸缩主体、晶圆主体、放置装置、清洗装置和安装主体，可以通过放置装置对减薄后的晶圆主体进行安装，之后在安装主体的作用下装入清洗装置，通过清洗装置对晶圆主体进行清洗，以此可以一次对大量的晶圆主体进行清洗，使清洗速度更快。

本发明授权一种晶圆加工减薄装置的清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工减薄装置的清洗设备，包括外壳1、用于对晶圆主体5进行放置的放置装置6和用于对晶圆主体5进行清洗的清洗装置8，其特征在于：所述外壳1左侧前端固定连接有控制主体2，所述外壳1内固定连接有清洗装置8，所述清洗装置8内前后两侧均安装有横向设置的托板7，所述清洗装置8顶部固定连接有电动伸缩主体4，所述电动伸缩主体4顶部与外壳1固定连接，所述外壳1左侧顶部开设有进料槽3，所述清洗装置8内设有两个前后设置的放置装置6，所述放置装置6前后两侧均固定连接有安装主体9； 所述放置装置6包括限位主体61、支撑杆62、横杆63、固定轴64、橡胶圈65、顶框66和卡板67，所述限位主体61底部固定连接有竖直设置且呈均匀分布的四个支撑杆62，所述支撑杆62两个为一组固定连接在横杆63左右两侧，两个所述横杆63分别固定连接在两个相互平行且呈纵向设置的固定轴64前后两端，所述顶框66内固定连接有纵向设置的固定轴64，所述固定轴64外侧固定连接有呈均匀分布的橡胶圈65，所述橡胶圈65三个为一组设置在一个晶圆主体5外侧，所述顶框66底部左右两侧均固定连接有均匀分布且呈纵向设置的卡板67，所述顶框66设置在限位主体61顶部； 所述橡胶圈65内开设有呈均匀分布的第二形变槽68，上方所述橡胶圈65底部与晶圆主体5相互不贴合；设置在顶部的橡胶圈65与晶圆主体5之间设置有一段距离，使晶圆主体5能够在三个橡胶圈65之间晃动，使晶圆主体5能够短暂的离开橡胶圈65； 所述限位主体61包括固定框611、橡胶块612、固定板614和固定球615，所述固定框611顶部开设有呈均匀分布的通槽616，所述固定框611所开设通槽616前后两侧内壁均开设有安装槽617，所述固定框611所开设安装槽617内设有橡胶块612，所述卡板67设置在固定框611所开设通槽616内，所述橡胶块612两个为一组分别设置在卡板67的前后两侧，所述橡胶块612内靠近卡板67的一侧固定连接有固定板614，所述橡胶块612内远离卡板67的一侧开设有横向设置且呈均匀分布的第一形变槽613，所述固定板614靠近卡板67的一侧固定连接有两个呈左右设置的固定球615，所述卡板67前后两侧均开设有横向且呈弧形设置的卡槽69，所述固定球615远离固定板614的一侧设置在卡板67所开设的卡槽69内，所述卡板67远离顶框66的一侧呈弧形设置； 所述清洗装置8包括超声波清洗主体81、定位轴82、支撑主体83、推杆84和推动主体85，所述超声波清洗主体81内底部中央位置处固定连接有支撑主体83，所述超声波清洗主体81内前后两侧均固定连接有托板7，所述支撑主体83顶部设置有推动主体85，所述支撑主体83内安装有推杆84，所述推杆84顶端与电动伸缩主体4转动连接，所述推动主体85包括推板851、连接杆852和限位板853，所述推板851底部左右两侧均固定连接有呈竖直设置的连接杆852，所述连接杆852远离推板851的一端固定连接有横向设置的限位板853，所述推板851中央位置处开设有通孔854，所述推杆84贯穿推板851所开设通孔854，所述推板851顶部固定连接有四个均匀分布的且呈竖直设置的定位轴82，所述托板7顶部左右两侧均固定连接有两个呈竖直设置的定位轴82，所述推动主体85和托板7上方均设有安装主体9； 所述安装主体9包括安装块91、弹性管92和弹性座93，所述安装块91内固定连接有弹性管92，所述弹性管92底部设置有弹性座93，所述弹性座93内开设有呈均匀分布的第三形变槽94，所述弹性管92内开设有呈均匀分布的第四形变槽95，所述弹性管92底部与弹性座93相互贴合，所述定位轴82贯穿弹性管92与弹性座93，所述安装块91四个为一组与固定框611固定连接。

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