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龙图腾网获悉上海派拉纶生物技术股份有限公司申请的专利一种复合叠层防水涂层制备装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119307888B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411245163.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种复合叠层防水涂层制备装置是由张岳;杜新伍;张金刚设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种复合叠层防水涂层制备装置在说明书摘要公布了：一种复合叠层防水涂层制备装置，涉及到多层薄膜沉积技术领域。主体为双层腔室设计，双层腔室同时引入ALD进气单元与Parylene进气单元，双层腔室之间接入低温流质进气单元，将需镀膜样置于腔室内样品支架上，通过低温流质如液氮实现腔体的快速降温，极大限度缩减涂层沉积后的降温等待时间，提高了ALD涂层加Parylene的复合叠层防水涂层的制备效率。同时因设备具有快速降温能力，可以高效实现样品的不同沉积温度复合叠层防水涂层的制备。

本发明授权一种复合叠层防水涂层制备装置在权利要求书中公布了：1.一种ALD加Parylene复合叠层防水涂层的制备方法，其特征在于：主体为双层腔室，包括外层腔室10与内层腔室11，所述内层腔室11设有ALD进气管路4、Parylene进气管路5、内部加热装置12和抽空管路14，所述外层腔室10套设于所述内层腔室11外部，所述双层腔室中间设有低温流质输送管路2；样品通过打开腔室顶盖8后放置在样品支架13上，腔室顶盖部分设有密封胶圈9用于密封保护，在所述内层腔室11实现样品的不同沉积温度复合叠层的制备； 镀膜腔室的气路结构包括，在所述内层腔室11上设有ALD进气管路4、Parylene进气管路5和抽空气路14，与所述ALD进气路4相连的是ALD进气单元3，与所述Parylene进气管路5相连的是Parylene进气单元6，与所述抽空气路14相连的是冷阱15和真空泵16； 在开始沉积前，镀膜腔室的进气路分别接入所述Parylene进气单元6和所述ALD进气单元3，开启气路预热，样品放置在样品支架13上之后开启真空泵16抽空密封腔室，沉积Parylene时，开启Parylene进气气路阀门，关闭ALD进气气路阀门，Parylene进入腔室在室温条件下为样品沉积Parylene涂层，多余的Parylene被冷阱15冷凝捕集以防止外泄，Parylene沉积完成后，关闭Parylene进气气路阀门，开启腔体内部加热装置12为腔室升温至ALD沉积温度，打开ALD进气气路阀门，实现通过ALD在样品表面沉积氧化物薄膜，ALD沉积完成后，关闭ALD进气气路阀门，打开低温流质进气气路阀门，通过在双层腔室之间加入低温流质实现腔体的快速降温至室温以便继续沉积Parylene涂层，采用有ALD进气和Parylene进气的双层腔室设计方案，同时因在双层腔室之间加入低温流质而使腔体具有快速降温能力，极大限度减少了降温等待时间，将Parylene沉积-升温-ALD沉积-等待降温-Parylene沉积流程简化为Parylene沉积-升温-ALD沉积-Parylene沉积。

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