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龙图腾网获悉上海汉虹精密机械有限公司申请的专利一种CVD炉的强制冷却机构及其冷却方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119433520B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411414363.X，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种CVD炉的强制冷却机构及其冷却方法是由刘伟;夏孝平设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CVD炉的强制冷却机构及其冷却方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种CVD炉的强制冷却机构及其冷却方法。一种CVD炉的强制冷却机构，包括一冷却通道；冷却通道沿着导流方向依次安装有第一热断开闭机构、第一转向冷却管路、第一角阀单元、第二转向冷却管路、热交换通道、冷却风扇单元、第三转向冷却管路、第二角阀单元以及第二热断开闭机构；第一热断开闭机构以及第二热断开闭机构上下设置，且第一热断开闭机构以及第二热断开闭机构均包括热断水冷法兰、热断气缸、热断快门以及热断硬毡，热断法兰上安装有热断气缸的缸体，热断气缸的活塞杆穿过热断水冷法兰与热断快门相连，热断快门远离热断气缸的一侧连接有热断硬毡。本发明实现CVD炉的快速冷却。

本发明授权一种CVD炉的强制冷却机构及其冷却方法在权利要求书中公布了：1.一种CVD炉的强制冷却机构，其特征在于，包括一冷却通道，所述冷却通道的两端分别与CVD炉的主炉体的侧壁法兰可拆卸连接； 所述冷却通道沿着导流方向依次安装有第一热断开闭机构、第一转向冷却管路、第一角阀单元、第二转向冷却管路、热交换通道、冷却风扇单元、第三转向冷却管路、第二角阀单元以及第二热断开闭机构； 所述第一热断开闭机构以及所述第二热断开闭机构上下设置，且所述第一热断开闭机构以及所述第二热断开闭机构均包括热断水冷法兰、热断气缸、热断快门以及热断硬毡，所述热断水冷法兰上安装有所述热断气缸的缸体，所述热断气缸的活塞杆穿过所述热断水冷法兰与所述热断快门相连，所述热断快门远离所述热断气缸的一侧连接有所述热断硬毡； 所述热断气缸的活塞杆处于伸长状态下，活塞杆带动热断硬毡堵住所述CVD炉的主炉体的侧壁法兰，CVD炉的主炉体与冷却通道相互隔绝，此时，第一角阀以及第二角阀处于闭合状态； 所述热断气缸的活塞杆处于缩短状态下，CVD炉的主炉体与冷却通道相互导通，此时，第一角阀以及第二角阀处于开启状态； 所述热交换通道的外壁的同侧开设有上下设置的对接法兰盘，位于上方的对接法兰盘与所述第二转向冷却管路对接，位于下方的对接法兰盘与所述冷却风扇单元对接； 所述热交换通道包括从上至下设置的上冷却腔体、中部冷却腔体以及下冷却腔体； 所述上冷却腔体以及下冷却腔体上均设置有用于冷却水导流的进水口以及出水口； 所述中部冷却腔体安装有一百多根换热管，换热管的内壁用于对接所述上冷却腔体以及所述下冷却腔体，所述换热管的外壁设置有用于对接冷却水的换热导流通道； 所述下冷却腔体安装有漏水检测传感器，所述中部冷却腔体的下端开口正对所述漏水检测传感器； 所述热交换通道邻近所述第二转向冷却管路的端部以及所述热交换通道邻近所述冷却风扇单元的一侧均安装有温度传感器； 所述热交换通道内安装有气压传感器； 所述第一角阀单元以及所述第二角阀单元均包括水冷阀座、角阀连接板、角阀气缸以及阀板，所述角阀气缸安装在所述角阀连接板上，所述角阀气缸的伸缩杆穿过所述角阀连接板与所述阀板相连； 所述水冷阀座上开设有第一法兰口以及第二法兰口，所述第一法兰口正对所述阀板； 所述水冷阀座轴向上的相对侧分别设置有所述角阀连接板以及所述第一法兰口，所述第二法兰口的中心轴线方向垂直于所述第一法兰口的中心轴线方向。

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