中国船舶集团有限公司第七〇九研究所郑锋获国家专利权
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龙图腾网获悉中国船舶集团有限公司第七〇九研究所申请的专利一种非接触式晶圆电阻测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119438700B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411361689.0，技术领域涉及：G01R27/02；该发明授权一种非接触式晶圆电阻测量装置及方法是由郑锋;薄涛;顾翼;罗锦晖设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非接触式晶圆电阻测量装置及方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种非接触式晶圆电阻测量装置及方法，属于半导体测试领域，旋转电机用于带动装载平台做旋转运动，实现被测晶圆周向上的布点切换；直线导轨用于带动探针线性模组沿被测晶圆的径向运动，实现径向上的布点切换；探针线性模组带动数据采集模块中的线圈探针在垂直于被测晶圆方向运动，调整线圈探针与被测晶圆的距离；距离传感器用于实时测量被测晶圆与线圈探针间的距离；线圈探针用于在电流的作用下测量待测晶圆各测点的电阻。本申请大大提高了晶圆电阻测量的精度。
本发明授权一种非接触式晶圆电阻测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种非接触式晶圆电阻测量装置，其基于电涡流效应的非接触晶圆电阻测量装置，其特征在于，包括：装载运动模块和数据采集模块； 装载运动模块包括装载平台、直线导轨、旋转电机和探针线性模组；装载平台的下表面与旋转电机连接，内部为气路腔体，上表面加工有气吸孔，以便被测晶圆以气吸的方式固定；直线导轨上安装有探针线性模组； 旋转电机用于带动装载平台做旋转运动，实现被测晶圆周向上的布点切换；直线导轨用于带动探针线性模组沿被测晶圆的径向运动，实现径向上的布点切换；探针线性模组带动数据采集模块中的线圈探针在垂直于被测晶圆方向运动，调整线圈探针与被测晶圆的距离；其中，当线圈探针的中心与装载平台的中心重合时，直线导轨所在位置作为测量的零位置； 数据采集模块包括距离传感器和线圈探针；距离传感器用于实时测量被测晶圆与线圈探针间的距离；线圈探针用于在电流的作用下测量待测晶圆各测点的电阻。
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