买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种光刻胶供胶管路用缓冲器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119472176B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411774395.0，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权一种光刻胶供胶管路用缓冲器是由杨佳雨;龚明;郭生华设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻胶供胶管路用缓冲器在说明书摘要公布了：本发明属于半导体设备技术领域，具体地说是一种光刻胶供胶管路用缓冲器，包括筒体主体、上盖、下盖，上盖上开设有用于连通外接的排废管路的排废孔道，下盖上分别开设有进液口及出液口，进液口与外接的进液管路相连通，出液口与外接的出液管路相连通。下盖上具有防逆流凸台部、倒锥形液体通过空间、液体流出孔等，倒锥形液体通过空间中设有挡球。本发明可在发生光刻胶充入过量的情况时，有效防止光刻胶回流进液管路，自动实现对光刻胶的单向流动控制，避免液位检测受到干扰；且能够可靠地将筒体主体内腔中的高压气体或多余的光刻胶排出，同时保持筒体主体的内腔中气压稳定，进而保证胶泵的稳定运行。

本发明授权一种光刻胶供胶管路用缓冲器在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶供胶管路用缓冲器，其特征在于：包括筒体主体1、上盖2、下盖3，所述筒体主体1的上下两端均开口，所述上盖2用于封闭所述筒体主体1的上端开口，所述下盖3用于封闭所述筒体主体1的下端开口； 所述上盖2上开设有用于连通外接的排废管路的排废孔道201； 所述下盖3上分别开设有进液口301及出液口302，所述进液口301与外接的进液管路相连通，所述出液口302与外接的出液管路相连通，所述下盖3的位于所述筒体主体1中的内侧面上凸设有防逆流凸台部303，所述防逆流凸台部303的内部开设有倒锥形液体通过空间304，所述倒锥形液体通过空间304的上端开口的内孔径大小大于该倒锥形液体通过空间304的下端开口的内孔径大小，所述倒锥形液体通过空间304的下端开口与所述进液口301直接连通，所述防逆流凸台部303的顶面上开设有若干个液体流出孔305，各所述液体流出孔305均位于所述倒锥形液体通过空间304的上端开口的上方、且均与倒锥形液体通过空间304相连通，所述倒锥形液体通过空间304中设有挡球4，所述挡球4的直径大小大于所述倒锥形液体通过空间304的下端的内孔径大小、并也大于各所述液体流出孔305的孔径大小，所述出液口302所在的高度位置低于各所述液体流出孔305所在的高度位置； 所述上盖2上开设有弹簧活塞安装孔道202，所述弹簧活塞安装孔道202具有上下两端开口，所述弹簧活塞安装孔道202的上端开口位于所述上盖2的位于所述筒体主体1外侧的顶面上，所述弹簧活塞安装孔道202的下端开口位于所述上盖2的位于所述筒体主体1中的内侧面上； 所述上盖2上还开设有大气连通孔道A203及大气连通孔道B204，所述大气连通孔道A203具有两个开口，所述大气连通孔道A203的其中一个开口位于所述上盖2的位于所述筒体主体1中的内侧面上，所述大气连通孔道A203的另一个开口与所述弹簧活塞安装孔道202相连通，所述大气连通孔道B204具有两个开口，所述大气连通孔道B204的其中一个开口与大气直接连通，所述大气连通孔道B204的另一个开口与所述弹簧活塞安装孔道202相连通； 所述排废孔道201的其中一个开口用于与外接的排废管路相连通，所述排废孔道201的另一个开口与所述弹簧活塞安装孔道202相连通； 所述弹簧活塞安装孔道202安装有弹簧活塞组件； 所述弹簧活塞组件包括安装挡盖5、弹簧6及活塞件7，所述安装挡盖5安装于所述弹簧活塞安装孔道202的上端开口处，所述活塞件7填充设置于所述弹簧活塞安装孔道202中，所述安装挡盖5的位于所述弹簧活塞安装孔道202中的底部部分与所述活塞件7的顶端之间通过所述弹簧6连接； 所述活塞件7的外周面上开设有环形连通槽701；所述环形连通槽701在初始状态时分别与所述大气连通孔道A203及大气连通孔道B204直接相连通；在所述筒体主体1的内腔中压力异常增大时，所述环形连通槽701与所述大气连通孔道A203及大气连通孔道B204相错开，所述大气连通孔道A203的另一个开口及所述大气连通孔道B204的另一个开口分别被所述活塞件7的外周面挡住。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳芯源微电子设备股份有限公司，其通讯地址为：110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。