浙江创芯集成电路有限公司江小龙获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利图形修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119493329B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311046991.2，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权图形修正方法是由江小龙;任堃;高大为设计研发完成，并于2023-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本图形修正方法在说明书摘要公布了：一种图形修正方法，包括：提供待修正版图，所述待修正版图包括若干待修正图形；对待修正版图进行曝光显影，获取光刻版图，所述光刻版图包括若干光刻图形，所述光刻图形与所述待修正图形一一对应；获取光刻图形的三维轮廓；判断所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移；根据所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移的情况，获取第一图形和第二图形，所述第一图形为无需修正的待修正图形，所述第二图形为除第一图形之外的待修正图形；对所述第二图形进行光学邻近效应修正。所述方法的修正效率提升。
本发明授权图形修正方法在权利要求书中公布了：1.一种图形修正方法，其特征在于，包括： 提供待修正版图，所述待修正版图包括若干待修正图形； 对待修正版图进行曝光显影，获取光刻版图，所述光刻版图包括若干光刻图形，所述光刻图形与所述待修正图形一一对应； 获取光刻图形的三维轮廓； 判断所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移，判断所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移的方法包括：获取相邻所述三维轮廓的侧壁之间的若干等位线，若干所述等位线平行于光刻版图表面；获取若干等位线中最长等位线和最短等位线之间的长度差；根据所述长度差的绝对值是否在预设范围内判断所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移； 根据所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移的情况，获取第一图形和第二图形，所述第一图形为无需修正的待修正图形，所述第二图形为除第一图形之外的待修正图形，所述第一图形为所述三维轮廓的侧壁发生了偏移的待修正图形，所述第二图形为所述三维轮廓的侧壁未发生偏移的待修正图形； 对所述第二图形进行光学邻近效应修正。
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