上海御微半导体技术有限公司黄清清获国家专利权
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龙图腾网获悉上海御微半导体技术有限公司申请的专利一种暗场环形照明装置和光学检测系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119595645B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411721563.X,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权一种暗场环形照明装置和光学检测系统是由黄清清;孔寒夫;尹光才;赵赫;孙刚设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种暗场环形照明装置和光学检测系统在说明书摘要公布了:本发明实施例提供了一种暗场环形照明装置和光学检测系统,涉及光学技术领域。本发明实施例提供的暗场环形照明装置,光源用于输出照明光束,照明光束经过棱镜分光单元分束为第一光束和第二光束;光路传输单元包括第一反射镜和第二反射镜,第一反射镜用于将第一光束反射至光路折转单元,第二反射镜用于将第二光束反射至光路折转单元;光路折转单元用于改变第一光束和第二光束的传输方向,将第一光束和第二光束传输至环形照明整形单元;环形照明整形单元用于将第一光束和第二光束调制成弧形并拼接成环形的照明视场至被测对象。本发明实施例提供的暗场环形照明装置,提高了光束传输效率,保证了全方向的缺陷检测能力。
本发明授权一种暗场环形照明装置和光学检测系统在权利要求书中公布了:1.一种暗场环形照明装置,其特征在于,包括光源、棱镜分光单元、光路传输单元、光路折转单元和环形照明整形单元; 所述光源用于输出照明光束,所述照明光束经过所述棱镜分光单元分束为第一光束和第二光束; 所述光路传输单元包括第一反射镜和第二反射镜,所述第一反射镜用于将所述第一光束反射至所述光路折转单元,所述第二反射镜用于将所述第二光束反射至所述光路折转单元; 所述光路折转单元用于改变所述第一光束和所述第二光束的传输方向,将所述第一光束和所述第二光束传输至所述环形照明整形单元; 所述环形照明整形单元用于将所述第一光束和所述第二光束调制成弧形并拼接成环形的照明视场至被测对象; 所述光路传输单元包括凸面反射镜,所述环形照明整形单元包括锥透镜; 所述第一光束和所述第二光束经过所述凸面反射镜发散反射至所述锥透镜,所述锥透镜将接收到的光束调制成环形的照明视场; 或者,所述光路传输单元包括凹面反射镜,所述环形照明整形单元包括球面反射镜组; 所述第一光束和所述第二光束经过所述凹面反射镜会聚反射至所述球面反射镜组,所述球面反射镜组将接收到的光束调制成环形的照明视场。
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