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广东华矽半导体设备有限公司梁经伦获国家专利权

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龙图腾网获悉广东华矽半导体设备有限公司申请的专利一种半导体全自动测试探针设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119619572B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411892860.0,技术领域涉及:G01R1/073;该发明授权一种半导体全自动测试探针设备是由梁经伦;郑东海;朱本亮;郭龙龙设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体全自动测试探针设备在说明书摘要公布了:本发明公开一种半导体全自动测试探针设备,包括支撑台,还包括运输组件,转动组件,伸缩组件和驱动组件;所述支撑台中部设置有所述转动组件,所述转动组件后侧设置有所述运输组件,所述转动组件右侧设置有测试台,所述转动组件前侧设置有输出台,所述运输组件内部设置有堆叠的待测晶圆,所述转动组件内部设置有所述伸缩组件;所述转动组件输出端转动至运输组件底部时,所述伸缩组件往复带动运输组件底部的晶圆滑出运输组件内部,所述转动组件继续转动至测试台顶部,所述伸缩组件带动晶圆滑动至测试台顶部;测试结束后,所述转动组件和伸缩组件带动晶圆滑动至输出台顶部。

本发明授权一种半导体全自动测试探针设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体全自动测试探针设备,包括支撑台,其特征在于: 还包括运输组件,转动组件,伸缩组件和驱动组件;所述支撑台中部设置有所述转动组件,所述转动组件后侧设置有所述运输组件,所述转动组件右侧设置有测试台,所述转动组件前侧设置有输出台,所述运输组件内部设置有堆叠的待测晶圆,所述转动组件内部设置有所述伸缩组件;所述转动组件输出端转动至运输组件底部时,所述伸缩组件往复带动运输组件底部的晶圆滑出运输组件内部,所述转动组件继续转动至测试台顶部,所述伸缩组件带动晶圆滑动至测试台顶部;测试结束后,所述转动组件和伸缩组件带动晶圆滑动至输出台顶部; 所述运输组件包括壳体,运输轴,运输齿轮和链条单元; 所述支撑台顶部连通设置有所述壳体,所述壳体前后壁转动设置有两组所述运输轴,竖直设置的两个运输轴为一组,所述运输轴外侧均固定套接有所述运输齿轮,两端所述运输齿轮外侧均绕设有链条单元,所述链条单元与所述运输齿轮通过齿轮啮合,两侧链条单元之间设置有晶圆; 所述链条单元包括阻挡片,外支撑片,内支撑片,连接轴和运输辊,所述外支撑片的末端和所述内支撑片的首端对应并通过所述连接轴转动连接有所述运输辊,所述内支撑片和所述外支撑片相间设置,与所述运输齿轮接触的相邻的两个所述运输辊与所述运输齿轮的齿牙啮合,多个所述外支撑片和所述内支撑片共同组成竖直方向的链条单元并与所述运输齿轮啮合;所述外支撑片和所述内支撑片远离对应所述运输齿轮的一侧均固定连接有所述阻挡片,所述阻挡片与对应的所述外支撑片或所述内支撑片垂直设置,所述晶圆依次堆叠设置于靠近所述晶圆中部的两端所述阻挡片顶部; 两端所述链条单元的转动方向相反;所述运输轴带动所述运输齿轮转动时,所述运输齿轮通过所述运输辊带动所述阻挡片和所述外支撑片下滑,进而实现所述晶圆的自动下移; 所述转动组件包括转动腔,转动套和转动齿轮; 所述支撑台顶部设置有所述转动腔,所述转动腔底部固定连接有所述转动套,所述转动套底部伸入所述支撑台内部且固定连接有所述转动齿轮,所述驱动组件通过所述转动齿轮实现所述转动腔间歇转动九十度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东华矽半导体设备有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市松山湖园区学府路1号9栋803室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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