富乐德科技发展(大连)有限公司孙雪敬获国家专利权
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龙图腾网获悉富乐德科技发展(大连)有限公司申请的专利一种改善半导体设备不锈钢部件熔射变形的工艺及熔射治具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119685739B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411663313.5,技术领域涉及:C23C4/12;该发明授权一种改善半导体设备不锈钢部件熔射变形的工艺及熔射治具是由孙雪敬;贺贤汉;朱光宇;王松朋;李泓波设计研发完成,并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善半导体设备不锈钢部件熔射变形的工艺及熔射治具在说明书摘要公布了:本发明属于熔射工艺技术领域,公开了一种改善半导体设备不锈钢部件熔射变形的工艺及熔射治具,工艺方法包括:熔射前处理,包括喷砂和保护;将不锈钢部件进行150A以内低电流两次熔射处理,利用冷却水降温;去保护和数据测量;高压水洗、超音波清洗之后烘干。本发明将传统的高电流一次熔射改为低电流两次熔射,保证粗糙度的同时,降低电流,同时优化熔射治具,利用水循环来降低部件表面的温度,避免部件变形,客户端可以进行重复使用,成本大大降低。
本发明授权一种改善半导体设备不锈钢部件熔射变形的工艺及熔射治具在权利要求书中公布了:1.一种改善半导体设备不锈钢部件熔射变形的工艺,其特征在于,包括下述步骤: 1熔射前处理,包括喷砂和保护; 2熔射:将不锈钢部件进行150A以内低电流两次熔射处理,利用冷却水降温;熔射第1遍先进行打底,130A以内低电流在部件上熔射一遍,使部件上有一层熔射层,粗糙度做到10~15μm,第2遍再熔射时,电流控制在150A内; 3去保护和数据测量; 4高压水洗、超音波清洗之后烘干。
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