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龙图腾网获悉浙江大学杭州国际科创中心申请的专利光刻工艺窗口的确定方法、装置、电子装置和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119739011B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510180849.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻工艺窗口的确定方法、装置、电子装置和存储介质是由周国栋;陈泽阳;曹书哲;陈甫讯;高大为设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻工艺窗口的确定方法、装置、电子装置和存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及光刻工艺窗口的确定方法、装置、电子装置和存储介质，其中，该光刻工艺窗口的确定方法包括：对获取到的原始光刻图像进行图案切分操作，生成多个标准像素图像；将多个标准像素图像输入至训练后的目标图案提取模型进行光刻图案提取处理，并输出所需要的预测光刻图案；其中，目标图案提取模型是基于预设的随机噪声数据，对初始的生成对抗网络进行训练生成的；基于预测光刻图案和原始光刻图像进行光刻工艺窗口分析处理，确定光刻工艺窗口。通过本申请，解决了在光刻工艺窗口分析中，如何解决因样本数据有限而导致分析结果的准确性和可靠性较差的问题，显著减少了对原始数据数量的需求，提高了光刻工艺窗口分析算法的鲁棒性和准确性。

本发明授权光刻工艺窗口的确定方法、装置、电子装置和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种光刻工艺窗口的确定方法，其特征在于，包括： 对获取到的原始光刻图像进行图案切分操作，生成多个标准像素图像； 将多个所述标准像素图像输入至训练后的目标图案提取模型进行光刻图案提取处理，并输出所需要的预测光刻图案；其中，所述目标图案提取模型是基于预设的随机噪声数据，对初始的生成对抗网络进行训练生成的； 基于所述预测光刻图案和所述原始光刻图像进行光刻工艺窗口分析处理，确定光刻工艺窗口； 其中，所述对获取到的原始光刻图像进行图案切分操作，生成多个标准像素图像，包括： 基于所述原始光刻图像的图案类型，对所述原始光刻图像进行图案切分操作，得到多个单一特征图像；对多个所述单一特征图像进行预处理操作，生成多个所述标准像素图像； 所述生成对抗网络包括判别器和生成器；所述方法还包括： 获取训练光刻图像，并对所述训练光刻图像进行图案切分操作，生成多个训练切分图像； 将所述随机噪声数据输入至所述生成对抗网络中的所述生成器，输出预测训练图像； 将所述训练切分图像和所述预测训练图像输入至所述生成对抗网络中的所述判别器，输出概率预测结果；其中，所述概率预测结果包括所述训练切分图像和所述预测训练图像之间的相似度； 基于所述概率预测结果，针对所述生成对抗网络中的所述判别器和所述生成器不断循环迭代优化，最终生成训练好的所述目标图案提取模型； 其中，所述基于所述概率预测结果，针对所述生成对抗网络中的所述判别器和所述生成器不断循环迭代优化，最终生成训练好的所述目标图案提取模型，包括： 将所述相似度和所述相似度的预设置信阈值进行比较，得到相似比较结果，并基于所述相似比较结果对所述生成对抗网络进行迭代优化，生成训练好的所述目标图案提取模型。

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