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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种适用于激光干涉仪光束准直的工装及激光干涉仪光束准直方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119756160B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411741857.9，技术领域涉及：G01B9/02；该发明授权一种适用于激光干涉仪光束准直的工装及激光干涉仪光束准直方法是由徐洪威;张超;陈李松;刘千伍;刘建华设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于激光干涉仪光束准直的工装及激光干涉仪光束准直方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于激光干涉仪光束准直的工装及激光干涉仪光束准直方法，包括：工作台、工件台、真空腔体、激光干涉测量装置和调试装置；所述真空腔体设置在工作台上，所述工件台设置在真空腔体内，所述激光干涉测量装置固定设置在工作台上，以用于对真空腔体内的工件台进行高精度的位移测量；所述调试装置可移动设置在工作台上，以用于光路准直。本发明利用通用的装调工装完成了所有光路的准直，大大压缩了成本，提高了准直方法的通用性和可操作性，易于推广。

本发明授权一种适用于激光干涉仪光束准直的工装及激光干涉仪光束准直方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于激光干涉仪光束准直的工装，其特征在于，包括：工作台1、工件台5、真空腔体7、激光干涉测量装置和调试装置；所述真空腔体7设置在工作台1上，所述工件台5设置在真空腔体7内，所述激光干涉测量装置固定设置在工作台1上，以用于对真空腔体7内的工件台5进行位移测量；所述调试装置可移动设置在工作台1上，以用于光路准直； 所述激光干涉测量装置包括干涉仪组件4、平面反射镜6、激光器8、第一直角反射镜151、第二直角反射镜152、33%分光镜161和50%分光镜162，所述干涉仪组件4包括第一干涉仪41、第二干涉仪42和第三干涉仪43；所述激光器8设置在真空腔体7外侧，所述工件台5的两侧设有正交分布的平面反射镜6，所述第一干涉仪41、第二干涉仪42和第三干涉仪43沿正交方向设置在真空腔体7两侧，且第二干涉仪42和第三干涉仪43位于真空腔体7的同一侧；所述第一直角反射镜151、第二直角反射镜152、33%分光镜161和50%分光镜162设置在真空腔体7的同一侧，所述第一直角反射镜151、33%分光镜161、50%分光镜162和第二干涉仪42依次并排设置，所述第二直角反射镜152和第三干涉仪43并排设置；所述激光器8发出光束，经第一直角反射镜151传入33%分光镜161，并分成两束，其中一束导入第一干涉仪41，另一束经50%分光镜162分成两束，其中一束导入第二干涉仪42，另一束经第二直角反射镜152导入第三干涉仪43，干涉仪组件4反射测量光被平面反射镜6反射回干涉仪组件4，进而对工件台5沿光路方向的位移进行测量； 所述平面反射镜6垂直或平行于工件台5的运动轴，测量光束垂直于平面反射镜6； 所述调试装置包括激光头2、分光镜3、滑轨靶标和方规13；所述激光头2安装在三脚架14上，并位于工作台1侧部，所述滑轨靶标包括磁力表座10、靶标11和导轨滑块12；所述分光镜3和导轨滑块12均设置在工作台1上，所述磁力表座10滑动设置在导轨滑块12上，所述靶标11可拆卸地设置在磁力表座10上；所述方规13设置在工作台1上。

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