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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于半导体炉管设备的温度控制系统及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119759120B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411647340.3，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权一种用于半导体炉管设备的温度控制系统及控制方法是由彭能;罗建;魏大禹设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体炉管设备的温度控制系统及控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体炉管设备的温度控制系统及控制方法，控制系统包括依次相连的三相电炉变压器、功率调整器、加热炉体、温控仪、可编程控制器和上位机；三相电炉变压器，用于通过持续输出二次侧电压电流至功率调整器；功率调整器用于通过接收温控仪输出的加热功率输出信号来调整来自三相电炉变压器二次侧输出电流；加热炉体，用于对内部装载的工艺产品进行加热；温控仪根据内外热偶检测温度值计算各个温区的加热输出功率值，再将加热输出功率值发送至功率调整器；上位机，用于下发工艺菜单目标温度参数至可编程控制器。本发明具有控温精度高、稳定性好等优点。

本发明授权一种用于半导体炉管设备的温度控制系统及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体炉管设备的温度控制系统的控制方法，其特征在于，用于半导体炉管设备的温度控制系统包括三相电炉变压器4、功率调整器5、加热炉体6、温控仪7、可编程控制器8和上位机9；所述三相电炉变压器4、功率调整器5、加热炉体6、温控仪7、可编程控制器8和上位机9依次相连；所述温控仪7还与功率调整器5相连； 所述三相电炉变压器4，用于通过电磁感应变换一次侧电压电流并持续输出二次侧电压电流至功率调整器5； 所述功率调整器5，用于通过接收温控仪7输出的加热功率输出信号，来调整来自三相电炉变压器4二次侧输出电流； 所述加热炉体6，用于对内部装载的工艺产品进行加热，并将内外热偶信号反馈至温控仪7； 所述温控仪7，用于接收加热炉体6反馈的内外热偶信号，并根据内外热偶检测温度值计算各个温区的加热输出功率值，再将加热输出功率值发送至功率调整器5； 所述上位机9，用于下发工艺菜单目标温度参数至可编程控制器8以及接收可编程控制器8的反馈值； 控制方法包括步骤： 获取工艺目标温度、工艺初始温度和工艺实际温度； 根据工艺目标温度、工艺初始温度和工艺实际温度得到温度比例系数； 将所述温度比例系数与预设值进行比较，当温度比例系数大于预设值时，采用混合控温模式进行控温；否则采用串级控温模式进行控温。

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