华天慧创科技(西安)有限公司王晓锋获国家专利权
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龙图腾网获悉华天慧创科技(西安)有限公司申请的专利一种脱模装置及晶圆级产品脱模方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119773129B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411957925.5,技术领域涉及:B29C43/18;该发明授权一种脱模装置及晶圆级产品脱模方法是由王晓锋;魏敏;邵雷;吴郁清;袁万利设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种脱模装置及晶圆级产品脱模方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种脱模装置及晶圆级产品脱模方法,属于晶圆级产品加工技术领域,装置包括第一吸盘和第二吸盘,第一吸盘和第二吸盘均具有铰接端和开合端,两者的铰接端相互铰接,第一吸盘上设有第一真空孔布设区,第一真空孔布设区由开合端向铰接端延伸,第二吸盘上设有第二真空孔布设区,第二真空孔布设区靠近开合端。方法包括:S1、第一吸盘水平放置;S2、晶圆玻璃吸附在第一吸盘上;S3、第二吸盘吸附翻印模板;S4、将第二吸盘背向第一吸盘旋转,直至翻印模板脱离晶圆玻璃。脱模时,第二物件和第一物件先是由靠近开合端的一端分离,然后逐步蔓延至靠近铰接端的一端,这样的方式可降低第一物件变形或破碎的风险,以及避免局部应力集中。
本发明授权一种脱模装置及晶圆级产品脱模方法在权利要求书中公布了:1.一种脱模装置,用于将由胶水粘结的第一物件和第二物件脱离,其特征在于,包括吸附面相向设置的第一吸盘和第二吸盘,所述第一吸盘和所述第二吸盘均具有位于对侧的铰接端和开合端,所述第一吸盘的铰接端和所述第二吸盘的铰接端相互铰接,所述第一吸盘的吸附面上设有用于吸附第一物件的第一真空孔布设区,所述第一真空孔布设区由所述第一吸盘的开合端向铰接端延伸,所述第二吸盘的吸附面上设有用于吸附第二物件的第二真空孔布设区,所述第二真空孔布设区靠近所述第二吸盘的开合端; 还包括用于水平放置的基座,所述基座上设有镂空区,所述镂空区能够容纳所述第一吸盘和所述第二吸盘,所述镂空区处设有用于承托所述第一吸盘的背侧面的支撑底板,所述第一吸盘安装在所述支撑底板上,所述基座上设有供所述第二吸盘铰接的铰接座; 所述第一吸盘内设有第一真空腔,所述第一吸盘的背侧面上设有用于与抽吸设备连接的第一抽吸孔,所述第一真空孔布设区上设有多个有内至外依次套设的环形槽,所述环形槽的圆心与所述第一真空孔布设区的中心重合,多个所述环形槽之间通过十字槽连通,所述十字槽内设有第一真空孔,所述第一抽吸孔和所述第一真空孔均与所述第一真空腔连通; 所述第二吸盘内设有第二真空腔,所述第二吸盘的侧壁上设有用于与抽吸设备连接的第二抽吸孔,所述第二真空孔布设区内设有第二真空孔,所述第二抽吸孔和所述第二真空孔均与所述第二真空腔连通。
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