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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种预对准仪及对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119965143B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411995754.5，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种预对准仪及对准方法是由张琪;符友银;朱凯设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种预对准仪及对准方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，公开一种预对准仪及对准方法。其中载台上设置有沿第一方向延伸的长条孔；支撑组件包括第一支撑柱和支撑部件，支撑部件包括两个第二支撑柱，两个第二支撑柱沿第二方向分布于长条孔的两侧，第一支撑柱和两个第二支撑柱用于支撑晶圆；调节组件包括托盘和驱动部件，驱动部件位于载台的下方，驱动部件设置有输出轴，输出轴穿设于长条孔并连接于托盘，托盘用于承载并吸附晶圆，驱动部件用于驱动托盘移动；检测装置设置于对准装置的上方，检测装置包括壳体和相机，相机安装于壳体内，壳体的底壁设置有避让孔，相机能够透过避让孔照射晶圆靠近第一支撑柱的边缘。

本发明授权一种预对准仪及对准方法在权利要求书中公布了：1.一种预对准仪，其特征在于，包括对准装置1和检测装置2，所述对准装置1包括： 载台111，所述载台111上设置有沿第一方向延伸的长条孔1111； 支撑组件12，所述支撑组件12包括第一支撑柱121和支撑部件122，所述支撑部件122包括至少两个第二支撑柱1221，所述第二支撑柱1221沿第二方向分布于所述长条孔1111的两侧，所述第一支撑柱121和至少两个所述第二支撑柱1221用于支撑晶圆； 调节组件13，其包括托盘131和驱动部件132，所述驱动部件132位于所述载台111的下方，所述驱动部件132设置有输出轴13231，所述输出轴13231穿设于所述长条孔1111并连接于所述托盘131，所述托盘131用于承载并吸附晶圆，所述驱动部件132用于驱动所述托盘131移动； 所述检测装置2设置于所述对准装置1的上方，所述检测装置2包括壳体21和相机22，所述相机22安装于所述壳体21内，所述壳体21的底壁设置有避让孔211，所述相机22能够透过所述避让孔211照射所述晶圆的靠近所述第一支撑柱121一侧的边缘； 所述支撑部件122至少为两组，每一组的所述支撑部件122包括两个所述第二支撑柱1221；所述支撑部件122沿所述第一方向间隔设置，所述支撑部件122中的两个所述第二支撑柱1221之间的间距沿远离所述第一支撑柱121的方向逐渐增大。

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