苏州芯睿科技有限公司辛玄霸获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯睿科技有限公司申请的专利一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120072728B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311608738.1，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法是由辛玄霸;张羽成;吕邵玮设计研发完成，并于2023-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法，所述晶圆对准系统包括热盘；限位机构，穿设于所述热盘上，其中所述限位机构包括至少两个并共同形成限位区域以对晶圆进行支撑和限位的支撑组件，所述支撑组件沿垂直于所述热盘的方向作升降的限位机构；辅助对准机构，环设于所述热盘四周，其中所述辅助对准机构包括至少两对支撑悬臂，所述支撑悬臂全部同步转动以进出限位区域，每对支撑悬臂的两个支撑悬臂向相反方向作同步转动以实现进出限位区域。本申请降低了第一晶圆与第二晶圆贴合过程中在第一晶圆与第二晶圆之间形成气泡及空洞。
本发明授权一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对准系统，其特征在于，包括： 热盘； 限位机构，穿设于所述热盘上，其中所述限位机构包括至少两个并共同形成限位区域以对晶圆进行支撑和限位的支撑组件，所述支撑组件沿垂直于所述热盘的方向作升降运动； 辅助对准机构，环设于所述热盘四周，其中所述辅助对准机构包括至少两对支撑悬臂，所述支撑悬臂同步转动以进出限位区域，每对支撑悬臂的两个支撑悬臂向相反方向作同步转动以实现进出所述限位区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯睿科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区杏林街78号新兴工业坊4号厂房1楼2楼A单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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