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龙图腾网获悉杭州阿童木科技有限公司申请的专利适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120099497B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510590425.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法是由郑一格;吴波睿;蒋李清设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法，属于气半导体制造技术领域。本发明采用蝶阀代替传统流量计供给流量，避免了流量计带来的阻力大、流量小的缺点，进一步的，该发生器集成了振动以及加热装置，使用温度和振动耦合控制，并配合压力的闭环控制，使大流量气体发生器能够恒定在目标气压，即能够保持其供给稳定流量气体；进一步的，本发明通过气压的闭环控制通过成熟的PID算法使气压即流量能够快速达到目标流量，实现高精度控制，本发明方案实现了流量、精度、稳定性的三者统一。

本发明授权适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于化学气相沉积装备的大流量气体供给方法，所述方法基于大流量气体发生器实现，其特征在于，所述大流量气体发生器包括：源瓶、加热装置、雾化器、压力计和控制器；其中所述源瓶用于存放以液态存在的气体源，所述加热装置和雾化器用于使源瓶内气体源从液态转化为气态，所述控制器用于根据所需流量调整加热装置和雾化器功率实现对于源瓶内气压的调整； 所述大流量气体发生器中，加热装置设置在源瓶外部，所述雾化器设置在源瓶内部，源瓶瓶口处通过一个三通阀与所述压力计相连，所述压力计与三通阀之间连接一个角阀，三通阀另一通路通过一个蝶阀与气体供给管路相连，所述气体供给管路与气相沉积腔体相连；所述加热装置、雾化器、压力计均与所述控制器相连；所述方法包括： 步骤1，针对源瓶内以液态存在的气体源，标定源瓶内压力和流量的关系； 步骤2，根据所需流量确定源瓶内的压力目标值，采用PID算法控制加热装置和雾化器的功率使得源瓶内压力稳定在压力目标值； 所述步骤1包括： 步骤1.1，将以液态存在的气体源存放于源瓶内，调整加热装置和雾化器的功率使源瓶内气压稳定保持在千帕，将气相沉积腔体内气压抽至真空，打开蝶阀对气相沉积腔体以一定的气体流量供给N时间后，测量气相沉积腔体内压力，记为； 步骤1.2，通过质量流量计标定以流量为标定的标定气体同样供给N时间后气相沉积腔体内压力； 步骤1.3，通过下述流量换算公式换算得到源瓶内气压稳定千帕时对气相沉积腔体进行气体流量供给N时间对应的实际流量： 其中，标定为标定气体的气体流量，为已知量；气体源为存放于源瓶内的以液态存在的气体源的质量流量转换系数，标定为标定气体的质量流量转换系数； 步骤1.4，重复上述步骤1.1至步骤1.3，获得源瓶内气压稳定千帕时对气相沉积腔体进行气体流量供给N时间对应的实际流量Q2，≠； 步骤1.5，根据步骤1.3和步骤1.4获得的源瓶内气压、对应的实际流量、拟合确定源瓶内气压P和流量Q的关系式中的参数和： 其中，表示源瓶内气压，Q为源瓶内气压为时对应的气体流量； 所述步骤2中采用PID算法控制加热装置和雾化器的功率使得源瓶内压力稳定在压力目标值之前，还包括：确定加热装置提供的温度和雾化器的振动功率耦合后与液汽转化效率的关系： 定义加热装置的当前功率为：加热=当前2汽化，其中当前表示当前发生器温度，汽化表示源瓶内部液体汽化温度； 定义雾化器的功率为雾化，则整体发生器当前功率记为：加热雾化，其中，分别为加热装置和雾化器的功率权重系数，通过调整整体发生器的功率得到相应的压力； 所述加热装置和雾化器的功率权重系数、根据下述方法确定取值： 利用加热装置对源瓶进行加热至温度，＞汽化，调整雾化器功率至其最大功率的二分之一，记为雾化1；待源瓶内气压稳定后观察此时压力计显示气压； 保持雾化器功率不变调整加热装置对源瓶进行加热至温度，≤2汽化，观察压力计显示气压为； 将加热温度调回温度，调整雾化器功率至雾化2，雾化2雾化1，观察压力计显示压力为； 则、分别为： 所述加热装置为带有温度显示功能的加热套，调整其温度即可自行调整其功率。

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