佛山市沪顺电子科技有限公司沈玫获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山市沪顺电子科技有限公司申请的专利一种用于半导体表面的抛光设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120155839B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510470221.3,技术领域涉及:B24B19/22;该发明授权一种用于半导体表面的抛光设备是由沈玫;张秋萍;王强设计研发完成,并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体表面的抛光设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于半导体表面的抛光设备,涉及半导体抛光技术领域,包括装置本体,还包括调节装置和降温装置,其中,所述装置本体的顶部设置有加工槽,所述装置本体的顶部固定安装有升降装置,所述升降装置的输出端固定安装有安装板,所述安装板的顶部固定安装有驱动装置,所述驱动装置的输出端固定安装有打磨板,所述转动装置输出端固定安装有抛光板;其中,调节装置包括存储框和控制组件,所述控制组件包括挡板、分隔板、限制板、滑板、排料管、接触板、梯形块、密封框、密封板、弯曲杆、盖板和转动板,所述存储框固定安装在安装板的顶部,本发明,具有可以提高对半导体抛光效率的特点。
本发明授权一种用于半导体表面的抛光设备在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体表面的抛光设备,包括装置本体1,其特征在于:还包括调节装置、降温装置和提升装置; 其中,所述装置本体1的顶部设置有加工槽,所述装置本体1的顶部固定安装有升降装置2,所述升降装置2的输出端固定安装有安装板31,所述安装板31的顶部固定安装有驱动装置32,所述驱动装置32的输出端固定安装有打磨板33,所述装置本体1的内腔底部固定安装有转动装置34,所述转动装置34的输出端贯穿装置本体1,所述转动装置34输出端固定安装有抛光板35; 其中,调节装置包括存储框41和控制组件4,所述控制组件4包括挡板42、分隔板43、限制板44、滑板45、排料管46、接触板47、梯形块48、密封框49、密封板410、弯曲杆411、盖板412和转动板413,所述存储框41固定安装在安装板31的顶部,所述挡板42固定安装在存储框41的内部,所述分隔板43固定安装在挡板42的顶部,所述限制板44滑动安装在挡板42的底部,所述滑板45固定安装在限制板44的表面,所述排料管46固定安装在存储框41的底部,所述接触板47固定安装在装置本体1的顶部,所述接触板47的表面开设有通孔和缺口,所述梯形块48转动安装在通孔顶部,所述密封框49固定安装在接触板47的表面,所述密封板410滑动安装在密封框49的内壁,所述弯曲杆411固定安装在密封板410的顶部,所述密封框49的表面开设有换气口,所述盖板412转动安装在密封框49的外壁,所述盖板412的表面开设有排气口; 其中,降温装置包括弹性伸缩杆52和换热组件5,换热组件5设置在装置本体1的内部,所述提升装置包括圆形块71和松开组件7,松开组件7设置在装置本体1的顶部。
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