广东中图半导体科技股份有限公司罗凯获国家专利权
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龙图腾网获悉广东中图半导体科技股份有限公司申请的专利压印设备、采用压印设备制备刻蚀掩膜的过程控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120161671B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510445407.3，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权压印设备、采用压印设备制备刻蚀掩膜的过程控制方法是由罗凯;王子荣;康凯;王农华设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本压印设备、采用压印设备制备刻蚀掩膜的过程控制方法在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种压印设备、采用压印设备制备刻蚀掩膜的过程控制方法，过程控制方法包括：在执行脱模操作的过程中，控制压印辊由靠近第一侧框向远离第一侧框的方向水平移动并始终接触刚性透明基板，控制脱模执行机构驱动第一侧框上升，以及监测刚性透明基板作用在压印辊上的当前压力；根据当前压力制定第一速度调整策略，并执行第一速度调整策略。第一速度调整策略用于使压印辊的后续受压压力处在预设脱模压力范围内，预设脱模压力范围为压印辊与脱模分离线距离在小于设定距离时确定的压力范围。本公开实施例方案使得压印辊与脱模分离线的距离小于设定距离，更好地实现顺利脱模。
本发明授权压印设备、采用压印设备制备刻蚀掩膜的过程控制方法在权利要求书中公布了：1.一种采用压印设备制备刻蚀掩膜的过程控制方法，其特征在于，所述压印设备包括模板夹具、压印辊和脱模执行机构；所述模板夹具用于承载表面具有压印图案的刚性透明基板；所述脱模执行机构用于在脱模操作过程中驱动模板夹具的第一侧框上升而实现倾斜脱模；所述过程控制方法包括： 在执行脱模操作的过程中，控制所述压印辊由靠近所述第一侧框向远离所述第一侧框的方向水平移动并始终接触所述刚性透明基板，控制所述脱模执行机构驱动第一侧框上升，以及监测所述刚性透明基板作用在所述压印辊上的当前压力； 根据所述当前压力制定第一速度调整策略，并执行第一速度调整策略； 所述第一速度调整策略包括调整所述压印辊的水平移动速度和或所述第一侧框的竖直移动速度；所述第一速度调整策略用于使所述压印辊的后续受压压力处在预设脱模压力范围内，所述预设脱模压力范围为所述压印辊与脱模分离线距离在小于设定距离时确定的压力范围。
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