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龙图腾网获悉无锡奥多尔自动化有限公司申请的专利一种择优腐蚀设备及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120261351B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510478783.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种择优腐蚀设备及其使用方法是由王金余;杨桦设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种择优腐蚀设备及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明属于硅片样片腐蚀检测技术领域，尤其涉及一种择优腐蚀设备及其使用方法。本发明提供一种择优腐蚀设备及其使用方法，其能通过在箱体和反应槽上设置晶圆翻转组件、气缸组件和齿轮传动组件的方式，使得：花篮进入反应槽时晶圆呈竖直状态，晶圆反应前利用气缸组件驱动反应槽的盖板关闭，齿轮传动组件将气缸组件的驱动力传递给晶圆翻转组件，盖板关闭同时带动晶圆翻转组件翻转使晶圆呈水平状态进行择优腐蚀反应，减少晶圆竖直状态下进行反应所带来的缺陷，影响择优腐蚀结果；同理，需提出花篮时，气缸组件驱动盖板打开，带动晶圆翻转组件和花篮进行翻转复位，以便机械手抓取，结构联动性能高且操作便捷，能适配原有结构使用。

本发明授权一种择优腐蚀设备及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种择优腐蚀设备，包括箱体1，设置在所述箱体1两侧端的上料台2和下料台3，所述上料台2和所述下料台3之间依次设置有反应槽4、漂洗槽5和干燥槽6，所述反应槽4包括槽体41和盖板42，其特征在于：还包括设置在所述槽体41内、并用于放置花篮a的晶圆翻转组件7，设置在所述槽体41上、并用于打开闭合所述盖板42的气缸组件8，以及设置在所述晶圆翻转组件7上、并用于啮合所述气缸组件8的齿轮传动组件9，所述盖板42打开闭合带动所述晶圆翻转组件7发生翻转，使得所述花篮a内的晶圆b相对所述槽体41底面呈竖直水平状态放置；所述反应槽4还包括用于安装所述晶圆翻转组件7的两个安装孔43；所述晶圆翻转组件7包括用于放置所述花篮a、且上端开口的承载框71，设置在所述承载框71两侧端上、并分别用于穿过两个所述安装孔43的两个旋转杆72；所述气缸组件8包括设置在所述槽体41上的伸缩气缸81，设置在所述伸缩气缸81输出端的连接件82，设置在所述槽体41上、且端部与所述连接件82连接的转轴83，一端设置在所述转轴83上、另一端与所述箱体1转动连接、以用于带动所述盖板42开合的翻动板84，所述转轴83与所述旋转杆72平行；所述齿轮传动组件9包括设置在所述转轴83上的主动齿轮91，设置在所述旋转杆72上的从动齿轮92，以及设置在所述槽体41上、并用于啮合连接所述主动齿轮91和所述从动齿轮92的传动齿轮93。

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