中国科学技术大学冯辉获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利基于太赫兹合成孔径成像技术的涂层厚度检测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120506890B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510615992.7,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权基于太赫兹合成孔径成像技术的涂层厚度检测系统及方法是由冯辉;武帅设计研发完成,并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于太赫兹合成孔径成像技术的涂层厚度检测系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于太赫兹合成孔径成像技术的涂层厚度检测系统,包括发射源,探测器,分束镜,聚焦透镜,二维平移台;发射源发射的太赫兹波透过分束镜后被聚焦透镜聚焦至焦点,而后从所述焦点以发散波的形式继续传播并照射至被测量样品;部分被样品散射的太赫兹波经过所述焦点照射到所述聚焦透镜,被所述聚焦透镜收集并转化为平行波束后被所述分束镜反射,直至被所述探测器所探测;二维平移台用于对被测量样品进行二维扫描,同步记录所述探测器探测的太赫兹信号,之后重构所述样品三维太赫兹图像。本发明还公开了一种涂层厚度检测方法。上述方案能够方便高效地测量被测样品的涂层厚度。
本发明授权基于太赫兹合成孔径成像技术的涂层厚度检测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于太赫兹合成孔径成像技术的涂层厚度检测系统,其特征在于,该涂层厚度检测系统包括: 发射源1,所述发射源1用于产生太赫兹波; 探测器2,所述探测器2用于探测太赫兹波; 分束镜3,所述分束镜3用于透射以及反射太赫兹波; 聚焦透镜4,所述聚焦透镜4用于对太赫兹波进行聚焦; 发射源1发射的太赫兹波透过分束镜3后被聚焦透镜4聚焦至焦点5,而后从所述焦点5以发散波的形式继续传播并照射至被测量样品6;部分被样品散射的太赫兹波经过所述焦点5照射到所述聚焦透镜4,被所述聚焦透镜4收集并转化为平行波束后被所述分束镜3反射,直至被所述探测器2所探测; 二维平移台7,所述二维平移台7用于对被测量样品6进行二维扫描,记录所述探测器2探测的太赫兹信号,之后重构所述样品6三维太赫兹图像; 所述被测量样品6包括发动机涡轮叶片,所述发动机涡轮叶片由外而内依次设置有陶瓷隔热层6-1、金属粘接层6-2和镍基高温合金基体6-3; 按方程式 重构所述样品6三维太赫兹图像; ①式中r为成像区域中被测点的位置坐标,Or为被测点的反射率;rtr为焦点5的位置坐标;Strtr,k为发射源1发射的太赫兹信号,Srrtr,k为探测器2接收到的太赫兹信号,k为太赫兹波的波矢。
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