万华化学集团电子材料有限公司谢毓获国家专利权
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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利一种终点检测窗口及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120572457B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511087415.1,技术领域涉及:B24B37/013;该发明授权一种终点检测窗口及其制备方法和应用是由谢毓设计研发完成,并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种终点检测窗口及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于抛光垫制备技术领域,具体涉及一种终点检测窗口及其制备方法和应用。所述终点检测窗口的硬度自外周至中心方向逐渐变大,所述终点检测窗口中心点具有最大邵氏硬度D1,所述终点检测窗口外周边缘点具有最小邵氏硬度D2,所述D1和D2满足:0<D1‑D2≤2,自边缘向中心硬度逐渐升高,既能保证终点检测窗口与抛光层接触的边缘硬度差值无明显变化,又能防止因终点检测窗口偏软造成抛光过程发生变形,减少终点检测窗口与抛光层硬度差异而造成的划伤,从而改善抛光一致性。
本发明授权一种终点检测窗口及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种终点检测窗口,其特征在于,所述终点检测窗口的邵氏硬度自外周至中心方向逐渐变大,所述终点检测窗口中心点具有最大邵氏硬度D1,所述终点检测窗口外周边缘点具有最小邵氏硬度D2,所述D1和D2满足:0<D1-D2≤2;所述D1为70-75D; 所述终点检测窗口的制备方法,包括:第一预聚体和第一固化剂混合得到第一混合料;所述第一混合料的扩链系数f1满足:0.9<f1≤0.99;第二预聚体和第二固化剂混合得到第二混合料;所述第二混合料的扩链系数f2满足:0.8<f2≤0.9;浇注,固化。
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